판매용 중고 GCA ALS 2145 #9411591

GCA ALS 2145는 집적 회로 제작 분야에서 광범위하게 사용되는 마이크로 리토 그래피 도구입니다. 이 기계는 특허를받은 하이브리드 선형 모터/광학 객관적 스캐닝 플랫폼을 사용하여 정렬 및 노출 장비의 프로젝션 광학을 정확하게 배치합니다. 이것은 미세 구조를 반도체 기판으로 패턴화할 때 높은 수준의 정밀도가 필요한 응용 프로그램 (application) 에 이상적인 선택입니다. GCA ALS-2145는 나노 미터 스케일 스테이지 정확도, 최대 0.2 나노 미터 정밀도를 갖추고 있으며, 0.5 미크론 정도의 작은 기능을 패턴 화 할 수 있습니다. 또한, 최첨단 CCD 카메라 시스템 및 주변 스캐닝 장치 (ambient scanning unit) 에 의해 정렬 정확도가 향상되어 무결성을 손상시키지 않고 외부 영향을 수용 할 수 있습니다. 알에스 2145 (ALS 2145) 는 한 기판에서 다른 기판으로의 빠른 전환 시간 때문에 업계의 워크 호스 (workhorse) 기기로, 대용량 생산에 신뢰할 수있는 선택입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 고유 한 양방향 마스크 교환 머신으로 각 웨이퍼에 최대 8 개의 레티클 (reticle) 을 소싱하여 초고해상도에서도 처리율을 높일 수 있습니다. 또한 동작 장치에 배치된 고도 회피 (High Avoidance) 도구는 교환 도구와 결합하여 각 기판의 동시 로드 및 처리를 활성화합니다. 또한, 자산을 쉽게 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 광학 (optics) 을 주기적으로 청소하거나 정렬할 필요가 없기 때문에 빔 (beam) 경로에는 움직이는 요소가 없습니다. 또한 빔이 단단하고 변조 조정기 (modulation adjuster) 가 거의없는 자동 초점 옵션이 내장되어 있어 설치와 교정이 용이합니다. 알에스-2145 (ALS-2145) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 툴로, 전 세계에서 제공하는 가장 큰 집적회로 생산에 사용할 고해상도 (High-resolution) 청사진을 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 높은 처리량과 정확성으로, 이 기계는 앞으로 몇 년 동안 반도체 (반도체) 산업의 지속적으로 성장하는 요구를 계속 지원할 것입니다.