판매용 중고 GCA 8500 series #21477

GCA 8500 시리즈 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조 공정 (photolithography) 에 사용되는 특수 도구입니다. 사진 이미지를 실리콘 웨이퍼에 정확하게 노출시키기 위해 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 프로세스를 사용합니다. 8500 시리즈는 0.1 m (이전 시스템보다 훨씬 정확함) 까지 이미징 기능을 사용할 수 있으며 이전 스텝에 비해 더 높은 처리량, 더 나은 정확도, 향상된 해상도를 제공합니다. GCA 8500 시리즈는 통합 구성 요소 모음으로 구성됩니다. 여기에는 방사선 소스, 가벼운 이미징 광학, 스테이지 제어 장비, 스테이지 제어 시스템 및 웨이퍼 홀더가 포함됩니다. 스테퍼 이미징 장치는 프로젝션 광학과 결합 된 4K 및 8K 광원의 조합을 사용합니다. 광학은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 정확한 지점을 통해 크리스탈 클리어 이미지를 정확하게 투영하도록 설계되었습니다. 8500 시리즈의 스테이지 컨트롤 머신은 10nm 수준에서 높은 정확성과 반복 성을 보장합니다. 5 축 기계식 스캐닝 스테이지로 작동합니다. 5축 (5-axis) 단계는 축 각도를 밀착 정렬하여 높은 정밀도를 유지하면서 다양한 동작을 제공합니다. GCA 8500 시리즈의 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 는 웨이퍼, 정확한 위치 지정, 먼지와 같은 외부 입자의 손상으로부터 더 나은 보호를 제공합니다. 웨이퍼 처리 (wafer handling) 자산은 위치 제어 모델과 통합되어 완벽한 작동과 정확성을 보장합니다. 8500 시리즈는 매우 정확한 고해상도 이미징을 만들 수 있습니다. 웨이퍼는 매우 빠른 속도와 높은 해상도로 처리 할 수 있습니다. 정교한 제어 기능, 향상된 자동화 기능, 간편한 운영 기능, 고수율 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. GCA 8500 시리즈는 photolithography, wafer stepper 및 wafer 노출 기능을 수행 할 수있는 안정적이고 비용 효율적인 장비입니다. 고급 반도체 제작, 고급 MEMS/LED 장치 제작, LCD/플라즈마 디스플레이 제작 및 고급 이미징 작업에 적합합니다. 전체적으로, 8500 시리즈의 웨이퍼 스테퍼는 반도체 처리 및 사진 해설에 사용되는 신뢰할 수있는 고정밀 도구입니다. 이 제품은 다양한 어플리케이션에서 강력한 기능, 정확성, 성능을 제공하며, 고급 (advanced) 반도체 제작 및 기타 이미징 작업에 이상적인 솔루션입니다.