판매용 중고 GCA 8000i series DSW LASERSTEP 200 #1721

GCA 8000i 시리즈 DSW LASERSTEP 200 웨이퍼 스테퍼는 이미지와 스텝 웨이퍼를 위해 특별히 설계된 고성능 장치입니다. 이 시스템은 일련의 연동 스캐닝 광학 플랫폼 (Interlocked Scanning Optical Platform) 을 기반으로 제작되었으며 트랙 유도 오정렬 단계에서 레티클의 정밀 이동을 제공합니다. 따라서 왜곡을 최소화하면서 와퍼에 작은 피쳐를 정확하고 정확하게 이미징 (Imaging) 할 수 있습니다. GCA 8000i에는 이미지 획득 프로세스에 대한 실시간 보정을 제공하는 현장 (in-situ) 왜곡 수정 시스템이 포함되어 있습니다. 이는 웨이퍼 이미징에서 가장 높은 정확도를 보장합니다. 스테퍼는 또한 각도 피쳐의 정확한 이미징을 가능하게하는 2 축 기울기 및 회전 스테이지로 구성됩니다. 이것은 스테퍼가 3 차원 또는 3 차원 기능을 이미지화하도록 요구하는 응용 분야에 특히 도움이됩니다. GCA 8000i에는 기울기 및 회전 단계 (tilt-and-rotate stage) 외에도 고급 광학이있는 가시광 현미경이 포함되어 있어 웨이퍼의 고해상도 뷰를 제공합니다. 또한 워퍼 (wafer) 에 매우 작은 기능의 정확한 집중과 이미징을 가능하게 하는 조절 가능한 내장형 빔 블랭킹 시스템도 포함되어 있습니다. GCA 8000i의 중심에는 LASERSTEP 200 광학 이미징 헤드가 있습니다. 이것은 안정성과 반복성을 유지하면서 고정밀 웨이퍼 이동을 제공합니다. 머리는 웨이퍼 표면에 자동 정렬하여 0.5äm (작게) 작게 이미징 할 수 있습니다. 또한 펄스 너비 변조 레이저 바를 사용하여 정확한 위치 지정 및 스텝 연속성을 보장합니다. GCA 8000i (GCA 8000i) 는 고정밀 이미징 및 스테핑이 필요한 웨이퍼 제조 및 연구 응용프로그램에 이상적인 도구입니다. 고급 옵틱 (Optic) 및 웨이퍼 (Wafer) 이동 기능을 통해 매우 작은 기능을 갖춘 이미징 및 스테핑 장치에 적합합니다. 기울기 및 회전 단계는 각도 피쳐를 이미징 및 스테핑하는 데 비교할 수 없는 정확도를 제공합니다. 내부 왜곡 교정 (in-situ distortion correction) 및 통합 빔 블랭킹 (integrated beam blanking) 은 웨이퍼에서 가장 작은 기능까지 선명한 이미지를 제공합니다. GCA 8000i DSW LASERSTEP 200 웨이퍼 스테퍼는 웨이퍼 이미징 및 스테핑을 위한 안정적이고 고성능 도구입니다.