판매용 중고 GCA 8000 #131413

GCA 8000 Wafer Stepper는 microcircuitry 구성 요소 제조에 사용되는 광학 석판화기입니다. 마이크로 패터닝 및 집적 회로 Photolithography를위한 최첨단 도구입니다. 이 도구는 반도체 웨이퍼의 초정밀 패턴 제조에 사용됩니다. 8000의 기능에는 자동화 된 레티클 변경 시스템, 0.6 µm 정렬 정확도, 7.5 nm 해상도 및 자동 레벨링 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. 또한, 최대 패턴 크기는 100mm x 200mm이며 석영, 유리 및 실리콘 기판을 지원합니다. GCA 8000 작업은 장치가 스테퍼에 레티클을 로드하는 것으로 시작됩니다. 그러면 레티클이 참조점과 정렬됩니다. 그런 다음, 장치 는 일련 의 소형 "렌즈 '를 사용 하여 전체" 레티클' 의 "이미지 '를" 웨이퍼' 에 투사 한다. 투영의 초점이나 배율을 변경하도록 미니 렌즈를 조정할 수 있습니다. photolithographic 노출 후 웨이퍼는 개발 시스템에 공급됩니다. 이것은 빛에 노출 된 광물질 (photoresist) 의 제거를 초래하는 습식 화학 과정이다. 개발 도상국 은 여러 가지 해결책 을 가진 "탱크 '를 포함 하고 있는데, 그것 은 광소시스트 를 청소 하고 제거 하는 데 사용 된다. 8000은 매우 인상적인 기술이며, 그 응용 프로그램은 많습니다. 매우 신뢰할 수 있는 고급 (Advanced) 툴로, 다양한 생산 라인에서 사용됩니다. 최소 결함이있는 기판에서 정확하고 고해상도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 기술은 다양한 유형의 통합 회로의 정밀 제작에 사용될 수 있습니다.