판매용 중고 GCA 8000/8500 #9101642

GCA 8000/8500은 GCA Corporation에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 4 축 웨이퍼 처리 로봇, 정밀 현미경, 전동 웨이퍼 스테이지, 고해상도, 냉각 CCD 카메라 및 통합 제어 시스템으로 구성됩니다. GCA 8000/8500은 다양한 모듈식 설계로, 업그레이드 및 인터페이스 유연성이 용이합니다. 4축 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 로봇은 기계에 웨이퍼를 로드 및 언로드합니다. 로봇은 최대 200mm (8 인치) 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 자동 정렬 기능도 갖추고 있습니다. 정밀 현미경은 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있도록 포커스 (focus) 및 배율 제어 (magnization control) 를 제공하여 패턴 이미징을 0.5 m까지 작게 할 수 있습니다. 전동식 스테이지는 웨이퍼를 정확하게 배치하여 정확한 이미징 및 오버레이 등록을 보장 할 수 있습니다. CCD 카메라는 장치의 핵심이며, 최고 품질의 이미징을 위해 진정한 기하학적/해상도적 사양 인 0.35 (m) 을 제공 할 수 있습니다. 카메라에는 3, 5, 6 인치 웨이퍼에 적합한 색상 필터가 있습니다. 냉각된 CCD를 사용하면 빠른 속도로 소음 이미지가 낮아 처리량을 최적화할 수 있습니다. Touch Screen 인터페이스가있는 시스템의 직관적인 제어 도구는 사용자에게 친숙하고 작동이 간편합니다. 통합 검색 및 찾기 기능을 통해 저장된 패턴을 쉽게 검색할 수 있으며, GCA 8000/8500은 고속 수동, 반자동 또는 완전 자동 노출이 가능한 모든 기능을 제공합니다. GCA 8000/8500은 마스크 정렬 처리, 광학 마스크 검사, 테이프 자동 결합, MEMS 장치 제작, IC 패키징 및 PCB 프로세싱과 같은 반도체 산업의 응용 분야에 적합합니다. 이 자산은 정밀 웨이퍼 처리에 필요한 탁월한 성능, 안정성 및 유연성을 제공합니다.