판매용 중고 GCA 6300B #9350318

GCA 6300B (Photolithography Machine) 의 설계 및 제작을 전문으로하는 GCA Corporation에서 제조 한 저항 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼를 활용하여 집적 회로로 반도체 웨이퍼를 노출시키는 중형 스텝 앤 스캔 리소그래피 (step-and-scan lithography) 장비다. 6300B (Submicron Photolithography) 의 엄격한 요구 사항을 충족시켜 이전 스텝 앤 스캔 석판화 기계의 정확성과 해상도를 초과하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 을 활용하여 뛰어난 프로세스 제어 기능을 제공하여 칩 제조 공정의 내구성과 처리량을 높입니다. 기계 중심부에는 고급 고해상도 렌즈 장치 (High-Resolution lens unit) 가 있어 뛰어난 화질과 극도의 일관성을 제공합니다. 이것은 고정밀, 고속 웨이퍼 정렬을위한 자동 정렬 머신 (alignment machine) 에 의해 더욱 보완되어 복잡한 집적 회로의 정확한 생산을 보장합니다. GCA 6300B에는 업계 최고의 웨이퍼 스테퍼 도구가 추가로 장착되어 있습니다. 이 자산은 매우 정확하고 닫힌 루프 (closed-loop) 제어 웨이퍼 스테이지로 구성되며, 웨이퍼 포지셔닝 및 스캐닝을 정확하게 제어합니다. 또한, 기계는 정확한 노출을 위해 레이저 다이오드로 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하는 정확한 스테퍼 모터를 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 있는 마스크 이미지를 정확하게 제어하고 배치할 수 있습니다. 6300B 의 또 다른 주요 특징 은 고급 자동 도량형 (Automated Metrology) 모델 로서, 시력 장비 를 이용 하여 노출 된 "패턴 '의 균일성 과 충실성 을 감시 한다. 즉, 초점 평면을 추적하는 초점 시스템 (focus system) 에 의해 이미지가 정확하게 왜곡되지 않도록 보충됩니다. 또한, 이 장치는 최고의 확장성 (Scalability) 으로 설계되어 최대 200mm 이상의 대형 웨이퍼 크기를 처리하도록 업그레이드할 수 있습니다. GCA 6300B (GCA 6300B) 는 고해상도, 복잡한 집적 회로를 놀라운 정밀도로 생산할 수있는 고급 웨이퍼 스테퍼 머신입니다. 닫힌 루프 웨이퍼 스테이지 (closed-loop wafer stage) 와 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 이미지와 위치를 정확하게 등록하고 고급 도량형 시스템은 오류 확인 및 분석을 제공합니다. 궁극적으로 6300B는 고정밀 서브미크론 회로 생산을위한 훌륭한 중형 석판화 도구입니다.