판매용 중고 GCA 6300B #293830722
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ID: 293830722
DSW Wafer stepper
HP 5501A Automatic Compensator
Resolution: 500 nm
Olympus 2142 Lens
Registration tolerance: Max 0.30 um global alignment, Max 0.15 um local alignment
Maximum die size: ~15 mm x 15 mm
Minimum substrate size: ~10 x 10 mm
Hard Disk Drive (HDD)
Mask plates: 5 x 5 x 0.090", 5x Reduction, Soda lime glass.
GCA 6300B 는 반도체 "마이크로프로세서 '와 전자 부품 을 만드는 데 사용 되는" 웨이퍼 스테퍼' 이다. 이 기계는 최대 0.4 미크론의 기능 크기로 집적 회로 (IC) 를 만들 수 있습니다. 빠른 작동 속도는 초당 최대 3 개의 전체 웨이퍼 단계 (full wafer step per second) 이며 동시에 최대 8 개의 단계를 처리 할 수 있습니다. 이 스테퍼에는 이동 속도가 30.5cm, 해상도가 0.0001mm 인 선형 스테이지가 포함되어 있습니다. 78cm x 91cm (78cm x 91cm) 플랫폼에 위치하고 있으며, 진행 중인 프로세스에 최적의 온도 및 대기를 제공하는 환경 주택으로 덮여 있습니다. 이 기계에는 6 인치 catadioptric zoom lens 디자인을 기반으로하는 기계식 광학 시스템이 장착되어 있습니다. "렌즈 '는 여러 가지 수치 의 조리개 와 높은 수준 의 정확도 와 정밀도 를 제공 할 수 있다. 또한 자동 초점 기술 (Autofocus Technology) 을 통해 최적의 초점 수준을 유지하기 위해 지속적으로 조정됩니다. 또한, 6300B 웨이퍼 스테퍼는 웨이퍼 검사 및 기타 다양한 이미징 작업을위한 복잡한 이미지 분석 알고리즘을 통해 작업 할 수 있습니다. 결함이 있는 장치를 식별하고, 치수를 측정하고, 다른 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 Yield Verification Test 및 Wafer Stress Analysis Test와 같은 다양한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 기계에는 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 운영자가 간단한 방식으로 장비와 상호 작용할 수 있습니다. 또한 다양한 작업에 사용할 수있는 포괄적인 도구 라이브러리 (예: 정렬, 웨이퍼 위치 제어, 웨이퍼 표시 확인) 가 있습니다. 전반적으로, GCA 6300B 웨이퍼 스테퍼는 매우 강력한 기계로, 속도와 정확도로 광범위한 작업을 수행 할 수 있습니다. 첨단 옵티컬 시스템 (Optical System) 은 복잡하고 고품질 집적회로 생산에 이상적입니다.
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