판매용 중고 GCA 6300 #131412

GCA 6300은 GCA Corporation에서 제조 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 최신 프로젝션 이미징 기술을 활용한 고속, 높은 정확도 리소그래피 도구입니다. 포토 마스크 (photomask) 에 의해 정의 된 회로 패턴을 반도체 웨이퍼, 광전자 재료, 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 와 같은 기판 재료의 표면에 전달 할 수 있습니다. 6300은 콘덴서 렌즈의 숫자 조리개 (NA) 에 의해 결정되는 초고해상도 (ultra-high resolution) 로 인해 독특한 웨이퍼 스테퍼 시스템입니다. 이를 통해 최대 0.5 jm 패턴 요소 크기를 생성 할 수 있습니다. 또한 왜곡을 최소화하여 이미징 프로세스 동안 패턴 크기와 정렬의 서브 미크론 (sub-micron) 변형을 허용하도록 설계되었습니다. 이 정밀도는 GCA 6300의 스캐닝 단계 (scanning stage) 로 달성되며, 이는 스테이지의 동작을 제어하기 위해 결합 된 고해상도 선형 인코더를 사용합니다. 이 장치의 최대 처리량은 31 웨이퍼/시간이며 평균 크기는 6 "입니다. 또한, 6300 은 최대 2 개의 사진 슬라이드 또는 photomask 필름을 동시에 처리 할 수있는 고급 스캐너 하위 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 연산자는 동일한 웨이퍼 (wafer) 에서도 다른 패턴 사이를 빠르게 전환 할 수 있습니다. GCA 6300은 또한 완전히 자동화되어 사용자 운영을 크게 단순화합니다. 설치, 이미징, 정렬, 초점 제어 및 기계 모니터링은 모두 컴퓨터 제어 정밀 마이크로모터를 통해 수행 할 수 있습니다. 이 도구는 석판화 작업에 충분한 유연성과 효율성을 제공합니다. 안전 및 유지 보수 측면에서 6300 (6300) 은 항상 안전을 보장하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 통합된 안전 연동은 교차 오염 위험을 최소화하는 반면, 3 단계 크랭킹 메커니즘은 빈번한 움직임으로 인한 자산 피로를 방지합니다. 또한 진공 데가 챔버가 통합되어 이미지 해상도가 향상되었습니다. 전반적으로 GCA 6300 웨이퍼 스테퍼 (GCA 6300 wafer stepper) 는 광범위한 기판에 대해 우수한 결과를 얻을 수있는 고성능 이미징 도구입니다. 초고해상도, 탁월한 처리량 및 자동 작동을 제공합니다.