판매용 중고 GCA 10 #9081982

GCA 10
제조사
GCA
모델
10
ID: 9081982
Vacuum oven. 208 V/8.
GCA 10 웨이퍼 스테퍼 (GCA 10 wafer stepper) 는 반도체 산업에서 웨이퍼 표면에 마이크로 회로 구성 요소를 만드는 데 사용되는 고도로 자동화 된 장치입니다. 광자 (photons) 와 같은 방사선 (radiation) 을 사용하여 종종 미세한 수준에서 패턴을 만드는 데 도움이 되는 리소그래피 (lithography) 도구의 유형입니다. 10 스텝퍼 (Stepper) 는 반도체 부품이 고효율과 품질로 생산되도록 다양한 기능을 갖춘 매우 정확하고 정밀한 기계입니다. GCA 10 웨이퍼 스테퍼는 세 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 처리 장비, 프로젝션 광학 시스템 및 컴퓨터 제어 장치) 로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling machine) 는 웨이퍼를 제자리에 고정하고, 웨이퍼를 투영 광학 도구에 정렬하는 역할을 합니다. 투영 광학 에셋에는 투영 이미지의 소스, 이미지를 초점을 맞추는 렌즈, 종료와 마스킹 모델, 이미지를 회전시키는 이미지 회전 장비 (image rotation equipment) 가 포함됩니다. 마지막으로 컴퓨터 제어 시스템은 스테퍼의 모든 요소를 제어합니다. 여기에는 이미지 위치 제어, 이미지 노출, 초점, 이미지 회전 등이 포함됩니다. 10 웨이퍼 스테퍼는 효율성이 높아 처리 시간 및 비용을 줄여줍니다. 이 장치는 레티클 (reticle) 과 다이 패턴 (die pattern) 을 직접 정렬하고 집중시킬 수 있습니다. 또한 고급 칩 간 자동화를 통해 고속 마스크 변경을 제공합니다. 또한 빠른 필드 속도는 처리량을 높이고 주기 시간을 줄입니다. GCA 10 웨이퍼 스테퍼는 시간당 최대 120 개의 웨이퍼 출력, 최대 25mm 웨이퍼 직경, 최대 600 라인/mm 해상도, 최대 0.4mm 정렬 정확도 및 최대 180nm 라인/공간 해상도를 포함하여 광범위한 기능을 제공합니다. 또한, 90nm 회선/공간 해상도의 24 층/미크론 유전체를 사용하여 광범위한 웨이퍼 기판에 대한 높은 처리량을 갖습니다. 10 웨이퍼 스테퍼는 안정적이고 제어 가능한 생산을 제공하여 품질을 보장합니다. 이 장치에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있으며, 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 마지막으로, GCA 10 스테퍼는 TCO (소유 비용) 가 낮아 생산 프로세스를 간소화하고 생산 비용을 절감하려는 기업에게는 매력적인 옵션입니다.
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