판매용 중고 CANON MS800 #9409285

CANON MS800은 반도체 처리에 사용되는 업계 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 뛰어난 정확도와 속도를 제공하는 고효율의 광학 장비를 사용합니다. 또한 고급 자동 샘플링 기능을 통해 정렬 및 노출의 정확성을 보장합니다. 이 기계는 R&D 응용 프로그램뿐만 아니라 대규모 생산에 이상적입니다. 고속 노출을위한 초점 거리 렌즈 (Ultra Short Focal Length) 와 균일 한 노출을위한 대규모 노출 장 (Exposure Field) 이 특징입니다. 이는 노출이 높은 감도 수준에서 수행될 때 최소 왜곡으로 최대 정확도를 보장합니다. 이 기계는 VIS (Integrated Vibration Isolation System) 를 가지고 있으며, 이는 노출 정확도에 대한 환경 진동의 영향을 최소화합니다. 또한, 이 기계는 고밀도 정렬을위한 유연한 스테이지 및 클립 커버 장치를 제공합니다. 캐논 (CANON) 의 고급 노출 제어 장치 (Exposure Control Machine) 는 높은 정확도로 각 노출에 대한 노출 설정을 미세하게 튜닝할 수 있습니다. 이 도구는 피드백 (feedback) 을 제공하여 실시간으로 노출을 조정하여 웨이퍼 서피스의 변경 사항을 보상 할 수 있습니다. MS800 에는 노출의 초점면을 감지하고 조정하는 12 영역 매트릭스 (12-zone matrix) 가있는 고급 자동 초점 에셋이 있습니다. 기계는 또한 3 차원 정렬 및 자동 노출 제어를 제공합니다. 이 기계에는 웨이퍼 표면의 결함을 감지하는 데 도움이되는 VIP (Integrated Vision Inspection Model) 가 있습니다. 이 비전 장비는 고해상도 카메라와 이미지 처리 (image-processing) 알고리즘으로 구동되어 상세하고 정확한 보고서를 제공합니다. 이를 통해 눈에 띄지 않는 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 정전기 충전 시스템 (electrostatic charging system) 으로 깨끗한 환경을 유지할 수 있습니다. 이것은 노출 과정의 정확성을 유지하는 데 도움이됩니다. 기계 에는 또한 특수 "브러쉬 '를 사용 하여" 스테퍼' 의 표면 을 청소 하는 통합 표면 청소 장치 가 장착 되어 있다. 이렇게 하면 운영 창을 정리하고 오염을 방지할 수 있습니다. 또한 오염 위험을 최소화하는 photoresist 제거 기계가 내장되어 있습니다. 광저항 제거 과정의 복잡성에 따라, 공구는 진공 또는 분광압에 의해 구동 될 수있다. CANON MS800 웨이퍼 스테퍼는 반도체 부품의 대량 생산을 위해 특별히 설계된 최첨단 생산 기계입니다. 다양한 기능을 통해 효율적이고, 정확하며, 안정적으로 작동하여 제품의 품질을 유지할 수 있습니다 (영문).