판매용 중고 CANON M31016 #9409288

CANON M31016은 반도체 제작 프로세스에 종종 사용되는 최상위 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 시스템은 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 시스템과 기존 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 시스템의 장점을 모두 결합한 고급 히스토리 제작 시스템입니다. M31016에는 강력한 Wyko 반사 방지 코팅 스테이지가 장착되어 있어 화질 향상을 위해 포토 마스크 및 웨이퍼 반사성을 줄입니다. 개선된 조명기 디자인 덕분에 Precision Point Positioning 기술은 6nm의 해상도와 0.1 äm의 정확도를 제공합니다. 5 축 스테이지로 더 큰 시야를 보장합니다. 외부 스캐너는 0.001 mm까지 정확도로 추가 동작 제어를 제공하여 CANON M31016을 통해 8 인치 이상의 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수 있습니다. M31016은 또한 최대 0.25mm의 얇은 웨이퍼를 0.02 µm의 정확도로 처리 할 수 있습니다. 최대 135ms (135ms) 의 고급 노출 시간을 제공하며, 1.2nm의 뛰어난 해상도로 포토마스크 인쇄, 리버스 엔지니어링과 같은 어플리케이션에 적합합니다. 정교한 오류 방지 아키텍처 (Error Prevention Architecture) 는 시간이 지남에 따라 반복 가능하고, 정밀도가 높은 결과를 보장하며, 공구 작동에 대한 실시간 피드백을 제공하는 고급 비디오 검사 시스템으로 백업됩니다. CANON M31016 은 포괄적인 유지 보수 및 교정 프로그램으로, 사용자는 툴의 성능을 향상시키고 시스템 다운타임을 줄일 수 있습니다. 효율적인 OPC 모니터링 알고리즘 (모델 기반 프로세스 수정) 은 Lithography Hotspot Contrant의 향상을 보장하며 신속한 융합을 통해 OPC 정밀도를 향상시켜 생산성을 높입니다. 탁월한 자동화 기능을 갖춘 M31016 은 인력 투입 (input) 을 대폭 줄여 자원 (resource) 을 줄여 생산성을 높일 수 있습니다. CANON M31016에는 또한 고유한 GDSF (Geometrically Decloced Site Feature) 소프트웨어가 포함되어 있어 정렬 오류를 줄이고 정렬 정확도를 유지할 수 있습니다. 특수 데이터 분석 도구인 5D 아키텍트 (5D Architect) 도 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 GDSF 형식의 상세한 데이터 시각화를 얻고 전반적인 운영 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 결론적으로 M31016은 반도체 제작에 이상적인 최상위 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 기능은 인력 투입을 최소화하면서, 강력하고 효율적인 툴이 됩니다.