판매용 중고 CANON i4 #293827042

제조사
CANON
모델
i4
ID: 293827042
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Stepper, 8" Process: Patterning Cassette BCR Reticle BCR Reticle changer, 6" Wafer chuck pin, 8" Left hand feed wafer feeder Reticle changer: Standard No PPC No RPC 1996 vintage.
캐논 i4 (CANON i4) 는 웨이퍼 스테퍼 기술을 사용하여 단일 웨이퍼에 여러 개의 마이크로 일렉트로닉 장치 사본을 빠르게 생성하는 스캐너입니다. photolithography, micromachining, contact masking 및 기타 정밀 photolithography 프로세스를 포함한 수많은 응용 프로그램에 사용됩니다. CANON I 4는 완전히 자동화되어 최대 4 인치 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 밝은 흰색 조명 소스를 갖추고 있으며, 서브 미크론 수준의 해상도를 가지고 있습니다. 스테퍼를 사용하면 자동화된 노출 제어를 위해 PC 호환 소프트웨어를 사용하여 장비를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 2 축 좌표계는 각 카피의 정확하고 반복 가능한 위치를 제공합니다. 스테퍼는 고유하게 설계된 금속 베이스와 최대 안정성을 위해 이중 열 (double column) 구조로 만들어졌습니다. 장치 패턴의 정밀 정렬 및 노출을 위한 고품질 옵틱을 제공합니다. 이 장치에는 2 인치 두께의 시준렌즈, 자동 초점 메커니즘 및 스캐닝 및 노출 과정에서 자외선 방사선 노출 가능성을 제거하는 필터 머신 (filter machine) 도 장착되어 있습니다. I4에는 32 개의 게이트 각각을 개별적으로 프로그래밍 할 수있는 높은 정확도 게이트 어레이 (gate array) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 스테퍼는 정확한 정확도와 표준 ± 1% 의 정확도로 각 단계를 생성 할 수 있습니다. 또한 스텝퍼에는 스캔 및 노출 프로세스의 정확성을 지속적으로 평가하는 "실시간 (real time)" 광 모니터링 도구가 내장되어 있습니다. 이를 통해 각 단계는 가능한 정밀도가 가장 높게 생성되고, 주변 환경이 프로세스의 정밀도를 방해하지 않도록 할 수 있습니다 (영문). I 4 는 5 년 보증이 지원되며 누출 방지 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 캐논 i4 (CANON i4) 는 확장 가능한 모듈식 구조를 갖추고 있어 필요에 따라 쉽게 적응하고 업그레이드할 수 있습니다. CANON은 또한 자산에 대한 현장 교육 및 전체 수리 및 유지 보수 서비스를 제공합니다.
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