판매용 중고 CANON FPA 6300 #9389983

CANON FPA 6300 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조 산업에서 사용되는 고도의 석판화 도구입니다. 그 정밀도와 성능은 다양한 어플리케이션에 대한 매력적인 옵션입니다. 고급 패턴화, 노출 방지 및 에칭 프로세스에 사용할 수 있습니다. FPA 6300 은 효율적이고 정확한 기능을 제공합니다. 전동식 줌 렌즈와 최대 필드 크기가 25mm x 25mm 인 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 장비를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 기하학적 모양으로 웨이퍼를 패턴화할 때 높은 정확도를 얻을 수 있습니다. 자동 정렬 시스템 (auto-alignment system) 이 장착되어 최적의 정확도를 위해 초점을 자동으로 재조정합니다. 또한, 스테퍼에는 가장 작은 기하학적 오류도 감지할 수 있는 고급 패턴 인식 장치 (advanced pattern recognition unit) 가 있습니다. 이것은 리소그래피에서 가장 높은 충실도를 보장합니다. CANON FPA 6300은 열 효과를 감소시키는 이중 펄스 너비 변조 기계를 사용합니다. 이것 은 방사선 이 "웨이퍼 '에 미치는 영향 을 줄이는 데 도움 이 되며, 그것 은" 와퍼' 의 충실도 를 증가 시킨다. 스테퍼는 또한 최대 가속도 10m/s2의 선형 단계 (linear stage) 를 가지고 있으며, 웨이퍼를 가로 질러 빠르고 부드러운 움직임을 제공합니다. 또한 고속 스캔 시간이 12msec (12msec) 으로, 스캔 시간이 짧고 처리량이 높습니다. 또한 FPA 6300 에는 독립 레이저 포커스 (focus) 툴이 있어 정렬 설정의 양과 필요한 시간이 줄어듭니다. 따라서 초점 정확도와 신뢰성이 높아 일관된 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 자동 이득 제어 (automatic gain control) 를 통해 저항의 최적의 노출과 깜박임 효과를 최소화하는 내장 이미지 안정기 (Bist-In Image Stabilizer) 를 제공합니다. CANON FPA 6300은 안정적이고 효율적인 스테퍼로 높은 정확성과 속도를 제공합니다. 이 제품은 반도체 제조업체와의 경쟁 우위를 확보하기 위한 "고급 (advanced) '기능으로, 더 짧은 시간 안에 더 높은 수율을 달성할 수 있습니다. 결과적으로 비용 절감, 제품 품질 향상, 고객 만족도 향상, 브랜드 충성도 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다.