판매용 중고 CANON FPA 6300 #293597782

CANON FPA 6300은 고정밀 광학 리소그래피 프로세스를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 CANON 독점 Laser Interferometer Mirror Aligning (LIMA) 기술을 통해 개별 표면 모양을 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이를 통해 FPA 6300은 탁월한 이미지 품질을 제공하며, 해상도는 나노미터 배율까지 낮출 수 있습니다. 또한 CANON 독점 PSM (Projection Scanning Microscope) 장비를 사용하여 장치가 웨이퍼 스캐닝 노출을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 빠르고 정밀도가 높은 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 을 허용하여 최고의 이미지 품질을 위해 웨이퍼가 제대로 노출되도록 합니다. 또한 CANON FPA 6300 은 모듈식 설계를 통해 다양한 유형의 워크플로에 장치를 조정할 수 있습니다. 모듈 식 구성 요소는 단일 및 다중 계층 리소그래피 프로세스 모두에 사용할 수 있습니다. 또한 모듈식 구성을 통해 안정성이 높고 유지 보수 다운타임을 줄일 수 있습니다. FPA 6300 의 추가 기능에는 장치의 에너지 소비를 크게 줄이는 Energy Save Mode 와 챔버에서 청결 수준을 쉽게 유지할 수있는 Clean Set Mode 가 포함됩니다. 이 장치는 또한 작동 중 진동의 영향을 줄이기 위해 낮은 진동 장치 (low vbration unit) 와 대용량 슬릿 패널 (slit-panel) 을 통해 더 일관된 웨이퍼 노출을 제공합니다. 또한, CANON FPA 6300 에는 고급 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automatic Wafer Handling Machine) 가 장착되어 있어 전체 처리 시간이 단축됩니다. 이 도구는 또한 수작업 (manual labor) 을 줄이며, 이는 전반적인 효율성을 증가시켜 장치를 더 빠른 속도로 더 정확한 리소그래피 (lithography) 를 생성 할 수 있습니다. 전반적으로, FPA 6300 (FPA 6300) 은 가장 작은 미세한 이미지에서 가장 정밀도를 얻을 수있는 고급, 고도로 생각되는 웨이퍼 스테퍼 자산입니다. 혁신적인 기술과 고급 (advanced) 기능을 통해 생산 능력과 효율성을 모두 향상시킬 수 있습니다.