판매용 중고 CANON FPA 6000 #293587902

CANON FPA 6000은 고해상도 광학 리소그래피 장비를 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼 장치입니다. 이 장치는 반도체 제작용으로 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 기판에서 높은 정확도 (high-accuracy) 패턴을 만들 수 있습니다. FPA 6000은 193 또는 248nm 파장의 대상 광선 출력과 최대 16W의 가변 레이저 전원을 제공합니다. 이를 통해 광범위한 리소그래피 프로젝트 (lithography project) 에 사용할 수 있으며, 스펙트럼으로 교정 된 렌즈 시스템으로 다양한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 리소그래피 (lithography) 의 정확성을 향상시키는 최신 디지털 이미지 처리 (digital image processing) 기술이 탑재되어 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 포함한 다양한 표면에 가장 작은 알려진 이미지를 정확하고 정확하게 재현할 수 있습니다. 통합된 이미지 처리를 통해 선 (line) 과 공간 (space), 접촉 (contact), 구멍 경유 (via holes) 등 가장 작은 패턴 피쳐를 최적화하고 정확하게 배치할 수 있습니다. CANON FPA 6000에는 2 단계 자동 정렬 장치가 장착되어 있어 각 노출에 대해 원하는 웨이퍼 위치를 정확하게 유지할 수 있습니다. 또한, FPA 6000은 공동 축 리소그래피에도 사용할 수 있으며 1X 및 7X 확대/축소, 자동 확대/축소 및 자동 이동과 같은 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 멀티 펄스 (multi-pulsing) 및 이중 노출 (double exposure) 을 포함한 다양한 노출 기술과 펄스를 수행 할 수 있으며, 이는 패턴 모양, 크기 및 깊이를 효과적이고 정확하게 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치는 또한 신뢰성이 높고 정교한 현미경과 3 차원 정렬 스캐너를 특징으로합니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 패턴이 최대 0.5 미크론 (0.5 미크론) 의 정확도로 정렬되어 있으며, 웨이퍼 위치에서는 3 미크론 (미크론) 미만의 반복 가능성이 제공됩니다. CANON FPA 6000은 스핀 코팅, 개발 및 후처리에도 사용할 수 있습니다. 여기에는 전기 도금, 화학 에칭 및 다양한 재료의 습식 또는 건식 패턴이 포함됩니다. 전반적으로 FPA 6000은 매우 정확하고, 안정적이며, 정교한 웨이퍼 스테퍼 장치로, 최적화되고 정확한 결과를 제공합니다. 고급 기능, 매우 정확한 이미징 머신, 자동 정렬 기능, 다중 노출 설정 등을 통해 다양한 프로젝트를 편리하게 수행할 수 있습니다.