판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9384057

ID: 9384057
KrF Scanner, 12" 90 nm.
CANON FPA 6000 ES6a는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 스테핑 머신입니다. 이 기계는 집적회로 생산에 있어 높은 정확성과 반복성을 지닌 "웨이퍼 (wafer) '를 생산하는 비용 효율적인 수단을 제공한다. 이 기계는 고급 정전기 기반 리소그래피 시스템 (electrostatic-based lithography system) 을 사용하여 매우 미세한 해상도 수준에서 사진 해석을 수행하고 중요한 스테핑 오류를 줄일 수 있습니다. 캐논 FPA 6000ES6A (CANON FPA 6000ES6A) 는 200mm 플랫 베드 정렬기 (flat-bed aligner) 와 반전 방지 코팅 오브젝티브 렌즈가 장착되어 있어 매우 넓은 시야로 설계를 제작할 수 있습니다. 이를 통해 기계는 기존 스텝퍼보다 더 우수하고 정확한 시야를 제공 할 수 있습니다. 기계는 양면 정렬 정밀도로 수행 할 수 있습니다. 이는 IC 칩을 사용하는 photolithography 프로세스에 필요합니다. 또한 강철 및 세라믹 캐리어에서 안정적이고 정확한 웨이퍼 정렬을 보장하는 통합 2 채널 연속 정렬 시스템이 있습니다. FPA-6000ES6A에는 수동 및 반자동 작동 모드가 있는 스테퍼 제어 장치가 있습니다. 이 기계는 PLC 또는 컴퓨터 프로그램으로 작동 할 수 있으며, 완전 자동화 생산 시스템 (Fully Automated Production System) 을 위해 산업 로봇 및 기타 생산 장비와 통합 될 수 있습니다. 그 기계 는 진공 기능 을 발전 시켜, 저탁력 을 제공 하여, 우월 한 석판 인쇄 결과 를 낸다. 또한, 기계에는 오염 가능성을 줄이는 데 도움이 되는 특수 자동 청소 장치 (special automatic-cleaning unit) 가 장착되어 있습니다. FPA 6000 ES 6 A 는 다양한 스테핑 게이지 시스템과 결합하여 가장 까다로운 애플리케이션에서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 그래픽 디스플레이가 있는 직관적인 조이스틱 컨트롤러 (joystick controller) 를 사용하면 복잡한 절차가 필요 없으며, 사용자가 쉽게 기계를 제어할 수 있습니다. FPA 6000ES6A는 또한 3 가지 축소 유형, 즉 절반 감소, 분기 감소 및 8 번째 감소 중에서 선택할 수 있습니다. 이 다양성은 micromachining 및 nanofabrication을 포함한 광범위한 석판 인쇄 응용 프로그램을 허용합니다. 전반적으로 CANON FPA 6000 ES 6 A는 정확하고, 신뢰할 수 있으며, 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼로서 뛰어난 성능과 높은 운영 효율성을 제공합니다. 자동 청소 장치, 고급 진공 기능, 3 가지 축소 유형 및 직관적 인 조이스틱 컨트롤러 (joystick controller) 를 사용하여이 기계는 성공적인 photolithography 프로세스에 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다.
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