판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9305230

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ID: 9305230
웨이퍼 크기: 12'
빈티지: 2005
KrF Scanner, 12" Wavelength: 248 nm CYMER ELS-7310 Laser Magnification: 1/4 Illumination NA: 0.86, σ 0.95 to 0.25 Annular ratio: 1/2 to 3/4 Opening angle: 90 XY Dipole illumination TEL Lithius track interface Lens data Illumination optical system: AFIS Input switching: 15-Tier turret Aperture1: 13-Tier turret Aperture2: 4-Tier turret Projection lens NA: 0.55 - 0.86 LIPS Focus Alignment system: FRA Reticle alignment AGA Wafer alignment Reticle SMIF loader: PPC Reticle barcode reader (2D), 6" OMRON Tag reader Relay FOUP Right inline Wafer type: Notch, 12" Cool plate before exposure (WTC) Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a 웨이퍼 스테퍼는 반도체 생산에 사용되는 다용도, 사용자 친화적 인 리소그래피 기계입니다. 고급 이미징 장비 제조업체 인 CANON Inc. (CANON Inc.) 가 생산 한 전용 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 매우 정밀하고 높은 생산성을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 광학 부품 및 컴퓨터 컨트롤의 독특한 구성을 특징으로하며, 이를 통해 서브 마이크론 해상도 (sub-micron resolution) 로 훌륭한 웨이퍼 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치는 컴퓨터 제어 평면 조정이 가능한 최첨단 회전 스캔 (state-of-the-art rotating scan) 메커니즘을 갖추고 있어 웨이퍼를 사용하여 마스크를 효율적이고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 대규모 뷰와 소규모 뷰를 원활하게 전환하는 기능을 갖춘 ES6a 는 탁월한 유연성을 제공합니다. 이 장치 의 광학 "모듈 '에는 다량 의" 렌즈' 가 장착 되어 있어 예상 된 "패턴 '이 탁월 한 충실도 가 되게 하고 있다. 이 시스템은 업계 표준 GDSII (GDSII) 데이터 형식과 완벽하게 호환되므로, 데이터 전송 및 타사 소프트웨어와의 호환성이 용이합니다. 또한 CANON FPA 6000ES6A 는 인상적인 성능 외에도 쉽고 직관적인 운영을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 노출, 정렬, 스테퍼/스캐너 제어에 이르기까지 완전히 자동화되어 수동 개입이 필요 없습니다. 또한, 이 기계는 다양한 운영자 제어 옵션 (Operator Control Options) 을 사용하여 엔지니어를 위해 인체 공학적으로 설계되었습니다. 노출 설정, 포커스 위치, 동작 제어 매개변수 등의 조정은 모두 인터페이스에서 쉽게 조정할 수 있습니다. FPA-6000ES6A (FPA-6000ES6A) 는 최소 수준의 운영자 투입과 노력으로 빠르고 정확한 완벽한 패턴 생성을 보장합니다. 최고급 옵티컬 설계, 탁월한 정밀도, 손쉬운 작동을 갖춘 CANON FPA-6000ES6A는 대용량 반도체 생산에 이상적인 선택입니다.
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