판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9296967

CANON FPA 6000 ES6a는 반도체 장치 프로세스를 위해 리소그래픽 및 포토 마스크 패턴 생성을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 5 인치 (127mm) 및 8 인치 (203mm) 직경 웨이퍼에서 최대 2,040 픽셀/인치 (80,000 픽셀/cm2) 의 해상도로 0.11äm의 작은 복잡한 고밀도 기능을 이미징 할 수 있습니다. 또한 고급 대규모 통합형 (VLSI) 장치에 대해 0.07äm의 최소 장치 기능 크기를 생성할 수 있습니다. 스테퍼는 최고의 정확성과 신뢰성을 위해 설계된 고급 재료로 제작되었습니다. 캐논 FPA 6000ES6A (CANON FPA 6000ES6A) 는 완전하게 자동화된 정렬 장비로, 더 큰 웨이퍼 필드를 이미징할 때 전체 필드 평면을 유지할 수 있도록 정확한 웨이퍼 위치 및 왜곡 제어를 보장합니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 기능을 사용하여 스테퍼는 모든 중요한 컴포넌트의 위치를 정확하게 측정하여 이미징 정확성을 보장합니다. 또한, 기계의 고급 이미징 시스템 (advanced imaging system) 은 서브 미크론 수준의 정확도로 가변 속도로 작동하며 좁은 선이나 밀도 (dense) 패턴과 같은 가장 어려운 기능을 이미징 할 수 있습니다. 이 기계에는 5 인치 및 8 인치 직경 웨이퍼 전체에 균일 한 조명을 제공 할 수있는 고해상도, 저온 방출, ELW (extended-long-wavelength) 광학 장치가 장착되어 있습니다. 또한, 스테퍼에는 빛 간섭으로 인해 이미지에 원치 않는 영향을 방지하기 위해 설계된 반사 방지 코팅 (anti-reflection coating) 이 있지만 여전히 뛰어난 이미징 대비를 제공합니다. 동적 이미징의 경우, 스테퍼는 3 차원 (3D) 스캔 기술에 의존하며, 이미지 품질을 향상시키기 위해 최대 1,000 배 더 높은 충실도와 해상도를 제공 할 수 있습니다. 또한 운영 환경에는 향상된 이미징 기능을 위한 최적화된 온도/습도 범위 (temperated temperate and humidity range) 와 작동 중 기계를 안정적으로 유지하도록 설계된 진동 격리기 (Vibration Isolation Machine) 가 있습니다. FPA-6000ES6A 는 마스크 없는 리소그래피 (lithography) 와 뛰어난 이미징 품질의 광학 근접 보정 작업을 제공하기 위한 조정 가능한 단계입니다. 또한, 스테퍼는 다양한 석판화 응용 프로그램에 가장 적합한 이미징 프로파일을 제공하기 위해 최대 5 개의 조명 모드를 사용합니다. 또한, 이 시스템은 기본 작동을 위한 이더넷 (Ethernet) 연결과 고급 설정을 위한 전용 제어판 인터페이스 (Control Panel Interface) 를 통해 호스트 컴퓨터에 연결할 수 있도록 설계되었습니다.