판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9293799

CANON FPA 6000 ES6a 웨이퍼 스테퍼는 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 최첨단 자외선 석판 시스템입니다. 이 기계는 고급 레이저 옵틱, 고정밀 6 축 스테이지, 자동 카세트 전송을 결합하여 처리량을 높이고 웨이퍼 처리 시간을 줄입니다. 이 기계는 15 나노미터 (15 나노미터) 의 작은 기능을 생산할 수 있으며 고밀도 집적회로, 메모리 장치, 광전자 부품 생산에 적합하다. CANON FPA 6000ES6A는 여기 소스로 193nm ArF 레이저를 특징으로하며, 업계 표준 인 KrF 리소그래피보다 훨씬 높은 해상도를 제공합니다. 레이저는 고정밀 (high-precision) 광학 공준기 (optical colimator) 와 6축 (6-axis) 미러 스티어링 어셈블리를 사용하여 초점을 맞추고 지시합니다. 이 스테이지에는 내장형 고해상도 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 가 장착되어 있어 노출되기 전에 웨이퍼를 적절한 위치에 정확하게 고정할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 자동화 된 "카세트 '수송" 시스템' 을 갖추었는데, 이 "시스템 '을 신속 히 적재 하고 언로드 할 수 있다. 이렇게 하면 각 주기 에 여러 개 의 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있게 되어 처리량 이 상당 히 증가 하게 된다. 그 에 더하여, 전사 장치 에는 "웨이퍼 플리퍼 '가 장착 되어 있어서" 카세트' 로부터 "스테이지 '로 그리고 다시" 웨이퍼' 를 재빨리 옮길 수 있다. 전반적으로 FPA-6000ES6A Wafer Stepper는 반도체 처리에 효과적이고 안정적인 도구입니다. 고급 레이저 옵틱, 6축 스테이지, 자동 카세트 전송이 결합되어 탁월한 웨이퍼 처리 기능이 제공됩니다. 이 제품은 복잡한 고밀도 IC (고밀도 IC) 와 메모리 장치를 생산하는 데 적합하므로, 현대 반도체 제조 업계에서 매우 유용한 도구입니다.