판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9281803

CANON FPA 6000 ES6a는 매우 반복 가능한 정밀 나노 스케일 패턴화가 가능한 고정밀도, 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. "반도체 '산업 에서 특히 가치 있는 것 은 높은 수준 의 정확도 와 반복성 으로 극히 훌륭 한" 패턴' 을 만들어 낼 수 있기 때문 이다. ES6a는 USP (ultra-short pulse) 레이저 기술을 사용하여 16nm 간격으로 패턴을 생성합니다. 또한 고해상도 장치에 대한 다양한 고급 석판화 기술을 사용합니다. PAT-TM 정렬 장비 (PAT-TM Alignment Equipment) 는 노출 중 정확한 정렬을 가능하게 하여 가장 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. 입증되고 신뢰할 수있는 진동 스테이지 드라이브 시스템 (oscillatory stage drive system) 은 웨이퍼를 매우 반복 가능한 방식으로 정확하고 정확하게 이동합니다. 또한 CANON 특허를받은 'Compact-Step' 이 장착되어 노출 단계 작업 간의 시간을 줄입니다. 이미징 장치는 에지 포지셔닝 펄스뿐만 아니라 다양한 이미징 형식을 지원할 수있는 스테퍼 (stepper) 를 사용합니다. 고립 된 입자의 위치와 존재는 다양한 센서를 사용하여 빠르게 검사되고, 입자의 크기는 매우 민감한 이미징 머신 (imaging machine) 으로 수행된다. 보조 옵틱을 사용하여 전체 작업을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. ES6a (ES6a) 는 가스 제어가 내장 된 플로팅 쿼츠/세라믹 챔버 (floating quartz/ceramic chamber) 와 로우 프로파일 척 (low-profile chuck) 을 갖춘 고효율 웨이퍼 스테퍼입니다. 이러한 기능을 사용하면 최적의 라인 너비 반복성, 처리량 향상, 전반적인 품질 향상을 위한 안정적인 패턴화가 가능합니다. 또한 독점적 인 SLF (Super-Light ™ Laser Fluorescence Monitor) 는 정확한 웨이퍼 포커싱 및 패턴 오버레이 결함이 모두 제어됩니다. 이 모니터는 또한 감광 물질 집계 (aggregation of photosensitive materials) 와 같은 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. ES6a (ES6a) 는 매우 반복 가능하고, 매우 훌륭하고 정확한 나노 스케일 패턴을 생성 할 수있는 잘 둥근 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 업계에서 가장 중요한 툴로서, 우수한 품질을 유지하면서 생산량을 안정적으로 증가시킬 수 있습니다 (영문).