판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9247815

캐논 FPA 6000 ES6a (CANON FPA 6000 ES6a) 는 제조업체가 기업의 엄격한 요구를 충족할 수 있도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. ES6a 는 정확성, 속도 및 신뢰성을 위해 설계된 독립형 장비입니다. ES6a (ES6a) 는 고해상도 이미지와 정확한 패턴화 기능 때문에 반도체 생산 공정에 사용되는 웨이퍼 스텝퍼에 이상적입니다. 보다 작고 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 를 만들 수 있도록 120 나노미터 이하의 피쳐 크기를 패턴화하는 데 적합합니다. ES6a는 4 인치에서 8 인치 사이의 다양한 웨이퍼 크기로 작동하도록 설계되었습니다. 독보적이고 독점적 인 VDS (Variable Daylight System) 소스를 통해 다양한 웨이퍼에서 일관된 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 VDS 는 작업 중 재포커스가 필요 없으며, 처리량 및 워크플로우 효율성을 극대화합니다. ES6a 는 고해상도 스캐닝 장치를 사용하며, 이는 3.5 미크론의 레이저 스팟 크기를 사용하여 이미지 정확도를 향상시킵니다. 또한 다양한 이미징 형식을 제공하는 고급 광학 기계 (Advanced Optics Machine) 를 통해 효율적이고 포괄적인 패턴 생산이 가능합니다. ES6a는 정확한 패턴화와 이미징을 보장하기 위해 CANON 독점 A&C 자동 교정 프로세스를 통해 설계되었습니다. 자동 조정 시스템을 사용하면 패터닝 작업 중 설정 시간이 빨라지고 안정성이 향상됩니다. 또한 스테퍼에는 스테이지 위치 (stage position) 및 노출 강도 (exposure intensity) 와 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하여 작동 용이성을 보장하는 고급 웨이퍼 정보 도구 (advanced wafer information tool) 가 있습니다. ES6a 는 강력하고 사용자 친화적 인 연동 자산 (Interlock Asset) 을 갖추고 있어 Wafer 가 실수로 손상되지 않도록 합니다. 또한 고급 웨이퍼 레벨 매핑 (Advanced Wafer Level Mapping) 을 통해 정확한 패턴 배치와 반복 가능한 패턴 배치를 보장하는 위치 감지 모델을 제공합니다. ES6a 는 정확성과 처리량이 필요한 운영 작업에 이상적인 wafer stepper 입니다. 정확성과 반복성으로 고품질 이미지와 패턴을 만들 수 있습니다. 수많은 고급 기능을 통해 효율성과 생산성을 극대화하는 동시에, 비용을 최소화할 수 있습니다.