판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9235776
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CANON FPA 6000 ES6a 웨이퍼 스테퍼는 고급 리소그래피 응용 프로그램에 사용되는 새로운 유형의 도구입니다. 이 장치는 높은 정밀도와 정확도로 웨이퍼를 패턴화할 수 있습니다. 실제 영상 "렌즈 '장비 를 사용 하면, 노출 과정 의 정확도 와 해상도 가 대폭 향상 된다. CANON FPA 6000ES6A는 올인원 (All-in-One) 설계를 갖춘 스테퍼로서 다용도의 고정밀 이미징 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 이 광 장치는 정확한 웨이퍼 패턴화를 보장하도록 설계되었습니다. FPA-6000ES6A의 최대 투영 이미지 크기는 최대 21mm x 21mm, 숫자 조리개가 0.70 인 투영기, 초점 깊이가 다양한 가변 초점 시스템. 또한, 스테퍼는 CYD 옵틱과 함께 제공되며, 이는 이미지가 전체 노출 프로세스에 초점을 유지하도록 보장합니다. 이 장치에는 또한 웨이퍼 클램프, 투영 정렬, 데가, 이미지 레티클 이동, 자동 초점 도구, 스테퍼 이동, 감지 자산 등 다양한 단계의 노출 프로세스가 장착되어 있습니다. 이 모든 단계는 전체 석판 처리 시간을 줄이기 위해 설계되었습니다. CANON FPA 6000 ES 6 A는 프로그래밍 가능한 노출 시간을 가지며, 이를 통해 사용자는 각 패턴화 프로세스의 노출 시간을 쉽게 제어할 수 있습니다. CANON FPA-6000ES6A는 매우 훌륭한 기능 패턴을 제공합니다. 최대 해상도는 0.26 미터 (0.26 m) 이며, 웨이퍼의 매우 정확하고 정확한 패턴을 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치는 또한 매우 높은 정확도로 웨이퍼 표면의 포토 마스크 (photomask) 를 오버레이할 수 있습니다. FPA 6000 ES6a 는 매우 안정적이며 사용자에게 친숙한 제품입니다. 유지 보수가 쉽고 반복 가능성이 높습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 매우 짧은 시간 내 에 매우 훌륭 한 질 의 "패턴 '을 생산 할 수 있어서, 생산 및 대규모 생산" 애플리케이션' 에 이상적 이다.
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