판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9210238
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ID: 9210238
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Fine pattern aligner, 12"
KrF Scanner: 248nm
Notch wafer
LCP Wafer chuck
Auto feeder: L Type, Type X
Loading config: Left hand loader
Coater / Developer: LITHIUS Type
Inline direction: L Type
L-Type wafer thermal controller plate (WTC), 12"
R Type open cassette, 12"
CANON Standard booth unit
Reticle changer
Reticle SMIF changer unit
Reticle barcode reader, 6"
Pellicle particle checker, 6"
Gigaphoton G41K3-1H excimer laser
RH Type delivery optics
Front side only e-Console kit
Signal tower: (3) Colors type
Power: 200 AC, 3 Phase
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a는 반도체 제조 및 photolithography 응용 프로그램에 사용되는 정교한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 하이엔드 머신은 간단한 선형 지수, 초고속 로우 다이 프로세스 및 낮은 연마 지수를 특징으로합니다. 스테퍼는 직경 3 ~ 12 인치 (3 ~ 12 인치) 의 광범위한 웨이퍼로 작업 할 수 있으며 2mm ~ 10mm의 다양한 두께를 수용 할 수 있습니다. 캐논 FPA 6000ES6A (CANON FPA 6000ES6A) 의 중심에는 레이저 다이오드 스캐닝 기술을 사용하여 패턴과 3 차원 모양을 웨이퍼 표면에 정확하게 전달하는 매우 정확한 광학 어셈블리가 있습니다. 이 장치는 최대 1 미크론 (micron) 의 정밀도로 위치를 지정하고 정렬할 수 있으므로 매우 상세하고 복잡한 설계를 제작하는 데 이상적입니다. FPA-6000ES6A에는 2 단계 검사 장비, 2 차원 웨이퍼 정렬 기술 등 다양한 고급 기능 및 프로세스가 포함됩니다. 또한, 고급 재량 (discretization) 기술을 통해 기계는 각 시간에 지정된 기하학을 정확하고 정확하게 배치 할 수 있습니다. CANON FPA 6000 ES 6 A는 또한 고속 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있어 웨이퍼를 신속하게 로드 및 언로드할 수 있으며, 이를 통해 주기 시간이 단축되고 생산성이 향상됩니다. 또한이 장치는 비 균일 한 습윤 및 기타 오염 물질로부터 노출 된 영역을 보호하기 위해 몇 가지 고급 건조 기술을 통합합니다. 캐논 FPA-6000ES6A (CANON FPA-6000ES6A) 는 먼지, 잔해 및 기타 환경 요소로부터 내부 구성 요소를 보호하기 위해 특별하고 내구성이 뛰어난 재료로 구성됩니다. 전체 장치는 간편한 액세스 및 유지보수 (maintenance) 를 위해 설계되어 장기적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 최첨단 기능 외에도, FPA 6000ES6A 는 다양한 소프트웨어 패키지와 통합된 포괄적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어, 시스템 성능에 대한 편리한 실시간 모니터링이 가능합니다. 또한, 직관적인 소프트웨어를 통해 사용자는 특정 요구에 맞게 도구를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, FPA 6000 ES6a 는 인상적인 웨이퍼 스테퍼로서, 다양한 고급 기능과 직관적인 사용자 인터페이스를 자랑합니다. 정밀도, 정확도, 견고한 설계로 다양한 사진 해설법 및 반도체 제조 응용 분야에 적합합니다.
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