판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9198402

CANON FPA 6000 ES6a는 마이크로 서킷, 포토 마스크 및 기타 관련 제품의 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 큰 시야 (77mm x 78mm) 를 활용하여 장치를 정확하게 이미지화할 수 있도록 하고, 핀홀 검사를 위해 0.45um (0.45um) 의 높은 해상도를 갖습니다. 이 장비는 양면 (양면) 패턴화와 양면 (양면) 정렬이 가능하므로 다중 계층 장치를 효율적으로 제작할 수 있습니다. CANON FPA 6000ES6A는 Point Alignment 및 Free Alignment 보상을 조합하여 종합적인 오버레이 정확도를 제공합니다. 또한, 파장 스캔은 이미지 향상을 최적화하기 위해 설계되었습니다. FPA-6000ES6A (FPA-6000ES6A) 에 사용되는 렌즈는 뛰어난 명암과 최소 플레어 (flare) 를 통해 선명한 이미징 필드를 제공하여 최고의 성능을 제공합니다. 더욱이, 이 "렌즈 '는 여러 가지 파장 을 덮고 있어서 여러 가지 장치 의 필요 를 충족 시킨다. ES6a 는 최고 180wspm 의 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 고해상도 디지털 그래픽 디스플레이가 장착 된 Micromirror Device뿐만 아니라, 초점 및 패턴 포지셔닝 센서가 내장되어 있는 CANON FPA-6000ES6A는 최적의 프로세스 제어를 지원합니다. FPA 6000 ES6a 는 기존의 이중 반사 미러 시스템에 대한 비용 효율적인 대안을 제공합니다. 정전기 100kHz 스캔 미러가 장착되어 있으며, 진동을 줄여 처리 속도를 높이고, 다운타임을 줄여줍니다. 또한 ES6a에는 렌즈 캡 정렬 (Lens Cap Alignment) 기능이 포함되며, 이 기능은 자주 최적화하고 조정 주기를 단축할 수 있도록 설계되었습니다. CANON FPA 6000 ES 6 A에는 고감도 포토 마스크 대 웨이퍼 정렬 시스템도 있습니다. 정렬 시스템이 제공하는 1 차 이점은 표적 위치에서 위치 (sub-angular accuracy) 로의 높은 정확도 이동을 보장한다는 것입니다. 또한, 플레어를 최소화하기 위해 웨이퍼 스테퍼는 가져온 흑백 모니터를 구현하여 고정밀 시각적 제어를 수행합니다. 전반적으로 FPA 6000 ES 6 A는 고도로 효율적이고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 넓은 시야, 인상적인 해상도, 오버레이 정확도, 다양한 기능을 통해 마이크로서킷 (microcircuit), 포토마스크 (photomask) 및 관련 품목의 고정밀 제조에 이상적인 솔루션이 됩니다.