판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6a #9193101

CANON FPA 6000 ES6a 는 높은 정확도, 뛰어난 정렬, 안정적인 작동이 필요한 장치 구성 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 생산성 향상과 최소한의 웨이퍼 손실 (wafer loss) 을 제공하는 고급 도구입니다. CANON FPA 6000ES6A의 성능은 우수한 광학 장비, 높은 NA 프로젝션 렌즈 조합 및 매우 정확한 오버레이 정렬을 위한 4 센서 웨이퍼 정렬 시스템을 기반으로합니다. 높은 NA 투영 렌즈는 NA 0.75이며 1.5 äm의 우수한 해상도를 제공합니다. 이것과 4 개의 센서는 매우 정확하고 정확한 정렬을 돕습니다. 내부 웨이퍼 처리 모듈 (Internal Wafer Handling Module) 은 더 높은 수준의 정밀도를 제공하며, 더 작은 부품을 생산하기 위해 웨이퍼에 효과적으로 분리 된 노출을 달성하기 위해 최대 ± 2 äm의 정확도를 제공합니다. 또한, 스테퍼는 독특한 웨이퍼 척 (wafer chuck) 디자인을 가지고 있으며, 이는 전통적인 웨이퍼 스테퍼보다 더 적은 시간을 추출하여 입자 오염 기회를 줄입니다. FPA-6000ES6A는 뛰어난 처리 속도와 정확도를 제공합니다. 전체 웨이퍼에서 최대 12 초/레이어의 노출 속도를 제공합니다. 또한, 이미징 균일성은 예외적이며, 웨이퍼에 각 칩을 매우 안정적으로 정렬 할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 DSC1000 장치는 FPA 6000 ES6a 의 핵심으로, 모든 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 머신은 사용자에게 각 레이어에 대한 포괄적인 데이터 세트를 제공하여 프로세스 프로파일 (process profile) 에 대한 결과를 분석하고 일관된 최적화 (consistent optimization) 를 실행할 수 있습니다. 또한 CANON FPA-6000ES6A에는 자동 초점, 웨이퍼 지그 인식과 같은 다양한 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 이러한 실제 기능은 설정 시간과 수동 작업 수를 최소화합니다. 또한, 자동 지그 로더 (jig loader) 를 사용하면 중단없이 여러 웨이퍼 지그 (wafer jig) 를 웨이퍼 척 (wafer chuck) 에 놓을 수 있습니다. 마지막으로 CANON FPA 6000 ES 6 A는 장기적인 신뢰성을 위해 제작되었습니다. 안정성 있는 작동을 보장하기 위해 웨이퍼 브레이크 (wafer breakage) 탐지 도구, 먼지 탐지 센서 (dust-detection sensor) 와 같은 여러 가지 주요 안전 구성 요소가 있습니다. FPA 6000 ES 6 A는 장치 제작 프로세스에서 정밀 리소그래피에 이상적인 선택입니다. 이러한 기능의 조합으로 인해 상업 수준의 생산 및 개발에 대한 신뢰할 수있는 솔루션이 됩니다.