판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6 #9308445

CANON FPA 6000 ES6은 매우 정밀한 MEMS (micro-electromechanical system) 및 집적 회로 (IC) 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 광학 및 이미지 처리 기술을 통해 높은 제조 수율을 보장합니다. 이 기계는 2 개의 독특한 렌즈를 장착하고 있으며, 뛰어난 정렬 정확도와 매우 높은 해상도의 이미징 기능을 갖추고 있습니다. CANON FPA-6000 ES6은 6 단계 광학 리소그래피 프로세스를 사용하여 웨이퍼에 매우 정확한 패턴을 만듭니다. 처음 네 단계 는 "웨이퍼 '를 광학" 마스크' 에 정확 하게 맞추는 데 초점 을 맞추고 마지막 두 단계 는 주사 "레이저 '를 사용 하여" 웨이퍼' 에 마지막 "패턴 '을 만든다. 이 기계는 최소 0.1 um (미크론) 크기의 정확한 피쳐를 만들 수 있습니다. 또한 FPA 6000 ES6은 고정밀 웨이퍼 스테이지를 제공하여 단단한 웨이퍼 포지셔닝 및 정렬을 보장합니다. 48 비트 스캔이 가능하며 새로운 초점 서보 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 매우 정확한 정렬이 가능하므로 프로세스 윈도우가 더 세밀해집니다. 이 기계는 또한 새로 개발 된 신호 처리 (signal processing) 및 처리 시스템을 사용하여 처리량 및 데이터 전송을 증가시킵니다. FPA-6000 ES6 에서도 다양한 자동화 옵션을 사용할 수 있어 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 이러한 옵션에는 완전 자동 웨이퍼 로딩 장치, 완전 자동 결함 검사기, 자동 노출 도구, 자동 웨이퍼 평판 검사 등이 있습니다. 또한 기계는 CANON FDS 4 웨이퍼 처리 자산과 함께 사용할 수 있습니다. 이 모델은 스텝퍼 (stepper) 와 핸들러 (handler) 간 웨이퍼를 자동으로 교환하여 생산성을 향상시킵니다. CANON FPA 6000 ES6은 매우 정확한 고품질 MEMS 및 IC 제품을 제공하기 위해 설계된 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱 (optic), 이미지 처리 (image processing) 및 정렬 (alignment) 기능을 활용하여 높은 제조 수율을 보장할 수 있습니다. 광범위한 자동화 옵션을 통해, CANON FPA-6000 ES6 은 매우 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 일관되게 우수한 결과를 제공할 수 있습니다.