판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6 #9235775

CANON FPA 6000 ES6은 고급 패키징 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. CANON FPA-6000 ES6은 최적의 성능을 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. Opto-Bedsteable 정렬 기술을 통해 불확실성과 추적 가능성이 낮은 미묘함을 허용합니다. 이것은 새로 개발 된 고급 갈바노미터 미러 시스템 (Advanced Galvanometer Mirror System) 에 의해 활성화되며, 노출 위치를 0.1 미크론으로 쉽게 조정할 수 있으며, 노출 수준이 높을 때에도 정밀도와 정확도를 높입니다. FPA 6000 ES6에는 고급 PMLE (Precision Multi-Layer Exposure) 및 높은 전송 공간이 장착되어 있습니다. 이를 통해 스테퍼는 최대 3 미크론 레이어 대 레이어 등록 내에서 균일하게 높은 해상도를 유지할 수 있습니다. 또한 3D 장치 제작을 위한 고속 와이어 너비 매핑 (fast wire-width mapping) 및 동종 프로세스 (homogenous process) 를 통해 동일한 레이어 내에서 더 높은 정밀도와 처리량을 제공합니다. FPA-6000 ES6에는 여러 가지 고급 자동화 기능이 있습니다. 여기에는 1X, 5X 및 10X 목표를 사용하여 작업할 수 있는 자동 초점 시스템이 포함되며, 이미지, 패턴, 웨이퍼 위치를 수동으로 또는 자동으로 보정할 수 있습니다. 또한 HDP (High-Density Plating) 프로세스를 통해 처리 시간을 최대 40% 단축할 수 있습니다. 또한 8 인치에서 12 인치 사이의 다양한 웨이퍼 크기도 지원합니다. 이것은 정교한 스태킹 (stacking) 또는 기타 설계에 충분히 큰 차세대 웨이퍼 기술의 생산을 노출시킵니다. 고정밀 CANON FPA 6000 ES6도 더 높은 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이것은 정확도와 정밀도를 손상시키지 않고 스테이지 속도를 최대 2.8 인치/초 (2.8 인치/초) 로 증가시켜 수행됩니다. 또한, 정렬 정확도가 0.3 미크론으로, 정렬이 좋지 않아 생산성이 떨어집니다. CCD 유형 정렬은 측정 시간을 줄이면서 9.6mm (wide field of 9.6mm) 에 걸쳐 측정 할 수 있습니다. 마지막으로, CANON FPA-6000 ES6 은 쓰기 데이터를 백업하고 정렬 (alignment) 및 노출 (exposure) 프로세스가 칩 설계와 정확하게 일치하도록 연동 메모리 제어를 갖추고 있습니다. 또한 정렬 오류 피크 감지 기능이있는 이중 추적 시스템이 있습니다. 이렇게 하면 전체 프로세스 전체에서 안정된 웨이퍼 (wafer) 이동을 보장할 수 있는 계층적이고 정확한 위도가 제공됩니다.