판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6 #9217736
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판매
ID: 9217736
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
KRF Scanner, 12"
Main (PO Module)
WS Module
RS Module
PSR
WS Chuck
Laser beam
GIGA Laser
CPSU Unit
N2 Purge
Control box
Cover panel
Wafer type: Notch
Altitude: 59 m
Wafer feeder: Right
No inline unit
No wafer temperature adjustment plate
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Coater / Developer
Wafer chuck, 12" LCP
Orientation flat position: Standard
Carrier unit, 12"
Booth unit: SMIF
Reticle changer: SMIF
No laser delivery optics
Excimer laser: GIGAPHOTON G41K3-1
Laser power cable unit: 20 m
Front and rear console: Cover kit
Right and left console: Attachment kit
No connector cover unit
MO Driver: Left / Right
CPSU Cable: 15 m
C-Rack power cable: 15 m
C-Rack signal cable: 15 m
No reticle cassette
No signal tower
Absolute intensity meter
No additional library
Reticle bar code reader, 6"
No cassette bar code reader
No pellicle particle checker
High-precision N° turn pa parts
No 440 test reticle
Test reticle: 756
Additional built-in console
No F47 kit
No power cable unit
No exhaust unit
Exhaust duct unit: 5 m
Axi SiA input lens
Axi zoom SiB2 input lens
Maintenance tool
No mass flow chemical filter
PO Module: WS Mount unit
Scan OPTF5+
ULEX 06S
OAS3B
Wafer interferometer
Chuck maintenance unit
Reticle interferometer
EX-A Scope
FG Unit
Illuminator
Stage reference mark
2nd Stage reference: Mark left and right
Illumination uniformity checker
Chamber
Upper control rack
Lower control rack
ALS12
Type 10 wafer feeder: PA / SH / RH
Type 10 wafer feeder: SCH / INL
Ground underground common unit
Incoherent
Manuals included
Front / Side console:
Touch screen
USB Port
Keyboard
Mouse
RS Module:
Illumination system
ZYGO 7714 R / S Side laser head
RA Main body
PRA
Reticle scan stage
PCB
PO Module:
U-Lens
OAS (OA Scope)
Scan OPTF Unit
ZYGO 7714 W / S Side laser head
Chuck maintenance unit
WS Module:
Wafer chuck type: Pin
Wafer stage
Booth 1:
J-Box left / Right
EWS
Booth 2:
Auto feeder:
Inline relay: FOUP Unit
Inline unit: WTC
Open cassette
SCH Robot
Auto feeder-PSR:
PA Unit
RCV Station
SH Hand
RH Hand
Reticle changer:
R / C Type, 6"
Cassette type: SMIF
SMIF POD
RTH Robot
Reticle stocker
Reticle stage
Barcode reader
PPC
CE Marked
Power supply: 208 V, 60 Hz
2004 vintage.
CANON FPA 6000 ES6은 사진 해설에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 업계의 고급 UV 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 반사 스캐너입니다. CANON FPA-6000 ES6은 최대 0.65의 숫자 조리개 (NA) 를 가진 0.3 äm의 기능 크기를 제공하여 28 nm 이하를 포함한 고급 프로세스 노드에 적합합니다. 스테퍼는 최대 8 인치의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으며, 노출 이미지를 2.7 초 짧은 시간에 쓸 수 있습니다. 이 제품은 현장 방출 열 소스가 내장되어 있어 저전력 (low-power) 을 사용하면서 온도 제어를 강화하여 TCO (총소유비용) 를 절감할 수 있습니다. 스테퍼에는 고급 자동 정렬 장비 (auto-alignment equipment) 가 있어 오버레이 정밀도와 정확도가 높습니다. 자동 정렬 시스템은 광원과 이미지 슈팅 머신 (image shooting machine) 을 사용하여 2 단계 장치로 구성됩니다. 또한 FPA 6000 ES6 에는 강력한 리소그래피 제어 툴 (lithography control tool) 이 포함되어 있어 고성능 제어 알고리즘과 고급 옵틱을 결합하여 고급 노출 제어 기능을 사용할 수 있습니다. 제어 에셋에는 자동 조정 및 피드백 (feedback) 기능도 포함되어 있어 이미징 매개변수를 최적화하여 리소그래피 안정성과 정확성을 향상시킬 수 있습니다. 스테퍼는 정렬되지 않은 마스크 피쳐의 노출 매개 변수를 감지하고 자동으로 조정하여 비용을 줄일 수도 있습니다. FPA-6000 ES6 에는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 터치스크린 제어판 등 사용자 친화적인 다른 기능이 탑재되어 있습니다. 스테퍼는 또한 긴 수명의 광학 정렬 창 코트, 6 축 동작 제어 모델, 고정밀 광학, 생산 라인에 원활하게 통합하기위한 통합 기계 제어 (integrated machine control) 를 갖추고 있습니다. CANON FPA 6000 ES6은 가장 고급적이고 사용자에게 친숙한 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 정확성과 정확성이 필요한 고성능 석판화 (lithography) 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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