판매용 중고 CANON FPA 6000 ES6 #9194861

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CANON FPA 6000 ES6
판매
ID: 9194861
KrF Scanner 248nm.
CANON FPA 6000 ES6은 CANON에서 제조 한 최첨단 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 모델은 다양한 과학, 산업 공정에 사용되도록 설계되었으며, 광범위한 응용 프로그램에서 정확하고, 정확하고, 반복 가능한 결과가 필요합니다. CANON FPA-6000 ES6 은 내장형 자동 초점 시스템으로, 레이저 스캔 및 추적 기능, 매우 정확한 초점 단계를 제공합니다. 결과적으로, 이를 통해 스텝퍼의 정렬, 측정, 반복 가능성, 정확성이 필요한 응용 프로그램에서 단위를 사용할 수 있습니다. 또한 ES6은 12 인치에서 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있도록 설계되었으며 1 ~ 2 개의 정밀 마스크가 장착되었습니다. 또한 FPA 6000 ES6은 와퍼 스캔 중 결함과 결함을 정확하게 감지하고 처리하기 위해 다양한 최첨단 옵틱 (optic) 및 조명 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 시스템을 사용하면 서로 다른 프로토콜을 안정적으로 사용할 수 있으므로 웨이퍼 스테퍼 프로세스 (wafer stepper process) 동안 속도, 정확도 및 정밀도가 향상됩니다. ES6는 인상적인 광학 및 조명 시스템 외에도, 고급 이미징 시스템을 보유하고 있습니다. 이 장치는 최대 5 um (um) 의 해상도를 생성 할 수 있지만 여전히 최대 6,000 필드/s의 높은 단면 속도를 유지합니다. 이는 자동 노출 조정 (Automatic Exposure Adjustment), 라인 및 영역 측정 기능 (Line and Area Measurement Features) 과 결합하여 다양한 까다로운 프로세스에 적합성을 더욱 높입니다. 이러한 기능의 결과로, FPA-6000 ES6 은 높은 정확성과 일관성을 필요로 하는 다양한 까다로운 과학/산업 프로세스에 적합합니다. 여기에는 photomask 정렬 및 인쇄, 반도체 웨이퍼 레벨 제작, 다양한 임베디드 구조 검사 등이 포함됩니다. ES6 는 완전 통합형 소프트웨어 제품군을 갖추고 있어 다양한 복잡한 프로세스 (complex process) 를 손쉽게 안정적으로 완료할 수 있습니다.
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