판매용 중고 CANON FPA 6000 ES5 #9253683

CANON FPA 6000 ES5는 CANON Inc. 에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼로, 높은 정확도로 고급 반도체 장치 계층의 정밀 배치 및 패턴을 제공합니다. 반도체 장치 제작 및 데카 노출 (Deca exposure) 과 같은 프로세스에 이상적인 고급 석판화 장비가 내장되어 있습니다. 스테퍼는 정렬 및 정밀 배치 개선을 위해 이중 노출을 사용합니다. 또한 고온, 가변 가스 대기 (variable gas atmosphere) 와 같은 다양한 처리 조건을 처리 할 수있는 선택 가능한 작동 환경이 있습니다. FPA 6000 ES5 는 효율적이고 정확한 웨이퍼 레벨 패턴화를 지원하는 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 고급 레이저 간섭계 시스템, 에어나이프 장치 및 평균 배치 정확도가 2µm 이내인 고밀도 온도 조절 저항기 (high-precision temper-controlled resist development machine) 가 포함됩니다. 고해상도 자동 초점 도구는 주어진 위치에서 최적의 노출 프로세스를 제공합니다. 스테퍼에는 고해상도 패턴 기능을 제공하는 6k 픽셀 배열 이미지 감지 장치가 있습니다. 저소음 셔터 기능이 장착 된 고속 자동 셔터 (High Speed Auto-Shutter) 도 통합되어 자산의 처리량이 증가합니다. 스테퍼의 최대 해상도는 5 미크론이며 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CANON FPA 6000 ES5는 수증기 함량이 적은 저전력 소비를 위해 설계되었습니다. 고급 환경 제어 모델을 사용하면 20 ° ~ 30 ° C 범위의 공정 온도에서 효율적인 성능을 발휘할 수 있으며, 추가 냉각이 필요하지 않습니다. 이 기계는 또한 패턴 해상도를 엄격하게 조절하기 위해 정확한 노출 위도 제어 (Control of exposure latitude) 를 제공합니다. 스테퍼는 이더넷, USB, RS-232 등의 다양한 통신 인터페이싱으로 설계되어 디버깅 및 유지 보수 작업에 적합합니다. 또한, 통합 검사 장비는 정확한 오류 배치 및 탐지를 보장합니다. 또한 FPA 6000 ES5 는 깔끔한 인터페이스, 조정 시간 단축, 고급 모니터링 기능을 통해 손쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다.