판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293815444

CANON FPA 6000 AS4는 반도체 장치 생산에 사용되는 고정밀 리소그래피를 가능하게하도록 설계된 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계에는 뛰어난 정확성과 균일성을 제공하기 위해 특수 고해상도 4kW 레이저 스캐너가 장착되어 있습니다. 이 기계는 여러 개의 탐지기 (detector) 를 사용하여 스캐닝 라인의 왜곡을 감지하고 X 및 Y 축의 정렬을 조정하는 고속 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 이중 CCD 카메라는 서브 픽셀 정확도와 정확하게 오버레이 정렬을 보장합니다. 또한, 이 기계는 고급 확장 필드 매칭 (extended field-matching) 및 자동 포커스 추적 시스템을 사용하여 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 이러한 시스템은 연약한 웨이퍼에서 가장 작은 구조의 정확한 석판 촬영 (lithography imaging) 을 가능하게합니다. 또한, 자동 셔터 장치는 모든 마스킹 레벨의 균일 한 처리량 및 불균일 한 노출을 보장합니다. 이 기계에는 고정밀도 스캐닝을 위한 수명이 긴 스캔 인코더 (scan encoder) 와 특허 기술로 설계된 매우 안정적인 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling machine) 도 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 웨이퍼 서피스에서 가장 작은 패턴까지 조작 및 정렬할 수 있습니다. 고급 소프트웨어는 또한 추가 프로세스 제어 및 이미징 프로세스의 미세 튜닝을 제공합니다. 이 기계는 또한 CANON AMF-FT (Auto Matching Functional Free Topology) 를 통해 뛰어난 웨이퍼 결합 기능을 제공합니다. 이 고유한 피쳐는 마스킹 왜곡 최소화, 고도로 병렬화된 정렬 보장 (GUI) 을 통해 뛰어난 결합 매개변수를 제공합니다. FPA 6000 AS4는 현재 사용 가능한 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼로, 탁월한 정확성과 균일성을 제공합니다. 고급 프로세스 제어, 고급 스캐닝 (scanning) 및 우수한 웨이퍼 바인딩 (wafer bonding) 기능을 통해 하이엔드 디바이스의 성공적인 생산에 이상적인 머신이 됩니다.