판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293815419

CANON FPA 6000 AS4는 작은 발자국과 큰 광학 렌즈를 제공하는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 석판 공정에 이상적인 선택입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 0.40NA에서 최대 렌즈 크기가 150mm (150mm) 이며, 고급 광학으로 인해 반 구형 표면에 노출 될 수 있습니다. FPA 6000 AS4에는 200mm 필드 크기와 최소 0.5 미크론의 레이저 스팟 크기도 있습니다. 이 장비에는 활성 레티클 정렬 장비 (Active Reticle Alignment Equipment) 와 같은 다양한 기능과 기술이 장착되어 있으며, 이는 CANON 독점 레티클 정렬 시스템을 사용하여 더 나은 정확도와 향상된 오버레이 제어 기능을 제공합니다. CANON FPA 6000 AS4는 또한 CANON 고급 곡선 필드 조명 장치와 공기 역학적 초점 기계를 사용하여 노출 시간을 단축합니다. 이 웨이퍼 스테퍼에는 최대 0.90 개의 큰 센서 수치 조리개가 있으며, 6 개의 독립 탐지 영역이 있으며, 이는 시중의 다른 웨이퍼 스테퍼보다 정확하고 강력합니다. 또한 FPA 6000 AS4에는 다양한 노출 및 스캔 형식이 있습니다. 여기에는 래스터 기반 이진 노출, 포토 마스크 스캔, 슬릿 스캐닝, 라인 스캐닝 (line scanning) 및 각 응용 프로그램의 형식을 선택할 수 있습니다. 또한, CANON FPA 6000 AS4에는 노출 형태에 따라 조명 패턴을 조정하는 독점적 인 비행 중 조명 도구가 있습니다. 따라서 최상의 결과를 얻기 위해 이미지가 정확하게 균질화됩니다. FPA 6000 AS4 가 제공하는 모든 기능을 활용하면 리소그래픽 (lithographic) 프로세스의 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.