판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293753702
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293753702
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4는 photolithography의 이미징 프로세스를 용이하게하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 5.8 미터 (5.8 m) 의 이미지 크기 정확도, 1.6 nm (오버레이 정확도) 및 시간당 최대 100 웨이퍼의 빠른 이미징 프로세스 속도로, 이 기계는 대용량, 높은 처리량 반도체 생산에 적합합니다. 이 기계는 빠르고 정확한 스테이지 이동을 위해 고정밀, 저부하 6축 (low-load) 6축 (6축) 로봇을 갖추고 있으며, 단일 웨이퍼에 여러 칩을 인쇄 할 때 최적의 결과를 얻을 수 있도록 수직 진동 보상 설계를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계에는 고성능 엑시머 레이저 (excimer) 의 광원이 장착되어 있어, 최소 노출 시간으로 고해상도 이미지를 확보할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템이 대용량 및 대용량 처리량 생산에 적합합니다. FPA 6000 AS4는 또한 신뢰할 수있는 액정 빔 셰이핑 장비를 갖추고 있으며, 매우 정확한 빔 디플렉션 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 기계 가 매우 정밀 하게 처리 할 수 있게 되고, 전위 형태 의 "에러 '를 줄이는 데 도움 이 된다. 이 기계는 또한 자동 초점 제어 (focus control) 를 제공하여 스테이지 및 기판 조건에 관계없이 인쇄 된 이미지를 정확하고 빠르게 생성 할 수 있습니다. 또한 자동 정렬 시스템 (Automated Alignment System) 을 통해 인쇄 전에 빔 위치를 빠르게 조정할 수 있으며, 인쇄 된 이미지의 해상도와 정확도를 향상시킵니다. 이 장치는 이미징 기능 외에도 고급 패턴 편집 도구 (Advanced Pattern Editing Tools) 를 제공하여 고급 패턴을 보다 세밀하게 디자인할 수 있습니다. 또한, 패턴 배치 (pattern placement) 를 정확하게 추적할 수 있으므로 스테이지 위치에 관계없이 인쇄된 패턴이 정확합니다. 마지막으로, 이 기계는 견고한 데이터 관리 머신을 갖추고 있으며, 사용자에게 매개변수, 레시피, 측정 결과 등 다양한 데이터를 저장할 수 있는 기능을 제공합니다 (영문). 따라서 여러 웨이퍼를 쉽게 관리하고 각 웨이퍼의 수명주기를 관리할 수 있습니다. 요약하자면, CANON FPA 6000 AS4는 광석기 공정에 대해 매우 정밀하고 높은 처리량 이미지를 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 빠른 이미지 처리 속도 (fast imaging process rate) 와 신뢰할 수있는 설계 (design) 를 통해 모든 사진 학적 환경, 특히 많은 양의 제품이 필요한 환경에 이상적입니다.
아직 리뷰가 없습니다