판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293753688
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ID: 293753688
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
CYMER Laser, currently non-functional
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4는 고급 리소그래피 기술을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 혁신적인 기계는 다중 노출 투영 (multiple exposure projection) 과 같은 고급 리소그래피 기술을 사용하여 고해상도 마스크를 만듭니다. FPA 6000 AS4는 넓은 영역에 대해 최대 1.0 "m '의 마이크로 라인 패턴을 제공 할 수 있습니다. CANON FPA 6000 AS4는 최대 작업 면적 6,000 x 6,000m와 5 단계 줌 장비를 갖추고 있어 웨이퍼를 정확하게 노출 할 수 있습니다. 또한 수차 및 왜곡을 줄이기 위해 고출력 조명기, 2 차원 스캔 및 가변 각도 투영 시스템이 있습니다. 이 기계는 또한 고급 광학 요소 생산을위한 고 처리량 반사 이미징 모드를 가지고 있습니다. FPA 6000 AS4에는 품질 마스크 생산을 보장하는 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 노출 전에 마스크를 정확하게 정렬하기 위해 자동 초점 및 공준 방지 시스템이 내장되어 있습니다. 또한 고급 레이저 옵틱은 정확한 고해상도 마스크 패턴을 보장합니다. CANON FPA 6000 AS4에는 웨이퍼의 균일 한 노출이 가능한 자동 노출 레벨링 장치가 내장되어 있습니다. FPA 6000 AS4 의 처리 속도는 시간당 최대 500 개이며, 이는 가장 빠른 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 고속 회전 및 2 차원 스캔을 통해 다양한 패턴을 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 프로그래밍하고 운영할 수 있습니다. CANON FPA 6000 AS4는 안정적이고 내구성이 뛰어난 시스템입니다. 그것 은 오염 과 마모 를 방지 하는, 단단 하고 방진 한 설계 로 만들어졌다. 기계는 또한 비슷한 클래스의 다른 웨이퍼 스텝 퍼 (wafer stepper) 에 비해 고장률이 낮습니다. 또한, 내장형 유지보수 머신 (maintenance machine) 을 통해 시스템 문제를 쉽게 확인하고 진단할 수 있습니다. 전반적으로 FPA 6000 AS4는 고정밀 석판 마스크 생산을 제공하는 고도의 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능 세트, 높은 처리량, 안정성, 내구성을 통해 고급 석판화 (lithography) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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