판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293752740
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ID: 293752740
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4는 공중영상 투사 및 고정밀도 정렬을 사용하여 초고속 처리량 및 매우 정밀한 사진 석판 촬영 결과를 제공하는 고급 자동 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 마이크로프로세서, IC 등 반도체 업계에서 생산할 수 있도록 설계됐다. FPA 6000 AS4 는 이전 모델과 비교하여 처리량을 향상시키고 필요한 공간을 줄여주는 초소형 시스템 구조를 갖추고 있습니다. 내장 AS4 정렬 스테퍼 및 패턴 시뮬레이터는 높은 정확도 정렬을 제공하므로, 웨이퍼 (wafer) 의 모든 영역에서 패턴 위치와 포커스를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 자동 스테퍼 (automated stepper) 는 전체 웨이퍼의 오프셋 지점을 높은 정밀도로 인식 할 수 있습니다. 이것은 장치의 정확성과 전체 수율, 특히 작은 피치 집적 회로의 경우 증가합니다. 이 기계에는 CANON 최첨단 CAP 활성화 도구가 장착되어 있으며, 이는 photolithography 프로세스의 에너지 소비를 크게 줄이고 결과적으로 가동 중지 시간을 달성합니다. CAP (CAP-activation) 기능은 사전 노출 시간을 단축하여 처리 속도를 높이고 운영 용량을 높일 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 또한, 에셋에는 이미징 광학을 자동으로 전환하기 위해 웨이퍼 두께 측정 정보를 사용하는 고급 타워 시프팅 모델 (Tower Shifting Model) 이 장착되어 있습니다. 이 장비를 통해 CANON FPA 6000 AS4는 다양한 웨이퍼 두께를 수용할 수 있으며, 이미징 기능과 인쇄 품질을 최적화합니다. 또한 FPA 6000 AS4 는 처리량을 극대화하고 정확성과 신뢰성을 향상시키는 다양한 추가 기능을 갖추고 있습니다. RC 등록 시스템 (RC-registration system) 은 연속적으로 생성 된 패턴 사이에 높은 수준의 등록을 촉진하여 매우 높은 패턴 반복 성을 보장합니다. 또한, 이 장치에는 wafer position 센서 및 정확한 모션 제어를 위한 AFD 센서와 같은 여러 내장 컨트롤러와 센서가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 패턴화된 웨이퍼가 제대로 이미지화되고 결함이 없도록 할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템의 사용자 친화적 (user-friendly) 컨트롤러는 완전히 제어 가능한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공하여 설치 및 작업 프로세스를 단순화합니다. 또한 CANON FPA 6000 AS4는 다양한 소프트웨어 옵션을 제공하여 사용자가 유형, 숫자, 크기, 패턴 해상도 등 다양한 매개 변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 따라서 이 도구는 다양한 사진 해설법 (photolithography) 프로세스에 적합하며, 생산 과정에서 최대의 제어와 유연성을 제공합니다.
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