판매용 중고 CANON FPA 6000 AS4 #293752739
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ID: 293752739
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4는 다양한 산업에서 응용 프로그램을 패턴화하는 데 사용하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것은 큰 스테퍼 테이블을 특징으로하며, 기판 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 스테퍼에는 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 을 투영 할 수 있도록 평평하고 균일 한 평면을 제공하는 고급 공기 베어링 스테이지가 포함됩니다. 이 기계는 고성능 투영 광학 장비 (optical equipment) 를 활용하여 석판화 마스크 (lithographic mask) 를 만들 때 매우 정확한 이미지 해상도를 제공 할 수 있습니다. FPA 6000 AS4의 스캔 장치는 잘못된 정렬을 줄이는 데 도움이 됩니다. 특허를 획득한 "동기화-스캔 (Sync-Scanning)" 기능은 마스크와 웨이퍼 간의 긴밀한 동기화를 보장하여 이미지 정확도를 향상시킵니다. 이 기계에는 누출 방사선을 감지하고 완화하기위한 CANON DF (Advanced Digital Filter Processing) 기술이 추가로 장착되어 있습니다. 이를 통해 고급 옵토일렉트로닉스 응용 프로그램의 최고 품질의 패턴 정확도를 보장할 수 있습니다. 스테퍼에는 자동 정렬 시스템 (Automated Alignment System) 이 장착되어 최적의 정렬을 빠르고 정확하게 찾을 수 있습니다. 이 장치는 마스크를 완벽하게 정렬하여, 운영 시간과 비용을 절감할 수 있도록 도와줍니다. 내장 측정 머신은 중복을 감지하여 더 정확한 결과 (시간 단축) 를 생성하도록 도와줍니다. CANON FPA 6000 AS4는 가동 시간을 최대화하는 데 도움이 되는 낮은 유지 보수 설계를 갖추고 있습니다. "스테퍼 '는 하루 에 24 시간 까지 작동 할 수 있으며, 생산 을 효율적 이고 순조 롭게 유지 하는 데 도움 이 되는 융통성 있는 동작" 플래너' 가 들어 있다. 불규칙성을 감지하고 오류를 보고하는 AI 기반 도구 (예: 다양한 유지 관리 도구) 를 통해 원활한 운영을 보장할 수 있습니다. FPA 6000 AS4에는 안전성을 높이기 위해 설계된 일련의 기능이 추가로 포함되어 있습니다. 안전 모드 (SafeMode) 는 사전 정의된 시간 프레임에서만 생산이 이루어지며, 운영 안전성이 높아지고 오작동의 위험이 없어집니다. 마지막으로, 스테퍼에는 먼지 입자 (dust particle) 가 모델에 침투하지 않도록 보호하는 필터 교체 경고 (filter replacement warning) 자산이 장착되어 있습니다. 전반적으로 CANON FPA 6000 AS4는 패턴 응용 프로그램에 높은 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 에어베어링 (air-bearing) 단계, 고급 이미지 투사, 동기화 (Sync-Scanning), 통합 정렬 장비, 낮은 유지 관리 설계 및 안전 기능을 통해 다양한 응용 프로그램에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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