판매용 중고 CANON FPA 5550 iZ #293817793

CANON FPA 5550 iZ
ID: 293817793
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57 Resolution: ≤350 nm DCO: 45.
CANON FPA 5550 iZ는 까다로운 마이크로 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 스테퍼는 뛰어난 이미징 기능과 뛰어난 장치 대 장치 균일성을 제공합니다. 독점, 매우 정밀한 정렬 장비로 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. "스테퍼 '는 정밀 하게" 패턴' 을 "반도체 '와 기타 장치 에 노출 시켜 고도 로 정확 한 장치 생산 을 할 수 있다. 초거대 기판의 고속 생산을 위해 설계되었으며, 탁월한 처리량과 생산성을 보장합니다. 최소 0.6 m, 균일 한 해상도 0.5 m의 우수한 해상도를 제공합니다. 독특한 후광 (halo lumination) 시스템과 고급 자동 블랭킹 메커니즘을 통해 마스킹에 대한 정확한 배치 및 석판화 균일성을 보장합니다. 스테퍼는 다중 파장 노출 및 다중 레벨 자동 노출을 포함한 여러 이미징 기술을 지원합니다. 또한 특수 반복 가능한 초점 기능을 지원하여 다양한 기판과 다양한 두께의 박막 (thin-film) 내에서 정확한 초점을 맞출 수 있습니다. 'XYZ Lens Tuning Function' 을 사용하면 정확한 초점을 보장하여 이미징의 정확성을 더욱 향상시킵니다. 최적화된 멀티 스테이지 진공 공급 장치 (multi-stage vacuum feed unit) 는 웨이퍼의 부드럽고 효율적이며 정확한 이동을 보장합니다. 또한 데이터 전송 속도가 최대 3.5 MB/s 인 탁월한 고속 통신 기능을 제공합니다. 독점적이고 매우 정밀한 패턴 매칭 머신 (matching machine) 은 마스크와 기판 사이의 패턴을 정확하게 일치시켜 완벽한 장치 대 장치 균일성을 보장합니다. 더욱이, 이 고급 장비는 또한 처리 및 포지셔닝 웨이퍼를 위한 고해상도 로봇을 갖추고 있습니다. 이 스테퍼는 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 다양한 생산 라인에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 고급 운영 기능을 통해 사진, 마이크로 전자, 의료 기기, 마이크로 메카닉, 항공 우주 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 간단히 말해서, FPA 5550 iZ는 뛰어난 결과를 제공하고 까다로운 석판 처리 프로세스의 정확성을 보장하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다.
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