판매용 중고 CANON FPA 5510 iZ #293818352

CANON FPA 5510 iZ는 다양한 집적 회로 (IC) 생산을 위해 정밀 리소그래피를 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 0.82의 높은 수치 조리개 (NA) 와 충전을 방지하고 석판 결함을 줄이는 거친 알칼리 기반 저항 코팅 (resist coating) 을 포함한 다양한 고급 기능을 사용합니다. 스테퍼는 매우 높은 정도의 정확도, 0.33äm의 해상도 (fine) 로 회로를 생산할 수 있으며, 높은 NA (High NA) 는 더 쉽게 초점 조정 및 향상된 광 변속기를 제공합니다. CANON FPA-5510IZ는 소형 비 배출 설계로 공기 오염을 최소화하고 웨이퍼 표면에 먼지 섭취를 줄입니다. 노출 필드는 6.45 인치 (164 밀리미터) 이며, 0.04 µm 미만의 정밀 배치 정확도로 정교한 패턴과 복잡한 패턴을 웨이퍼에 투영 할 수 있습니다. 예상 패턴이 노출 사이에 정확하게 정렬되도록 하는 특허받은 광학 시프트 시스템 (Optical Shift System) 은 스테퍼의 복잡한 장치 구조 제조에 기여합니다. 이 시스템의 정렬 정확도는 실시간, 고속 자동 초점 시스템 (Auto-focus System) 에 의해 지원되므로 웨이퍼 능력을 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. 또한 LCD 디스플레이를 사용하면 다양한 매개변수와 기능을 손쉽게 시각적으로 모니터링할 수 있습니다 (영문). FPA 5510 iZ는 효과적인 스테퍼 작동을 제공하는 107W 램프 보드로 구동됩니다. 고주파 EHX (HF) 드라이브는 다양한 환경 조건에서 안정된 정렬 및 패턴 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 스테퍼에는 독점 ActiveX ™ 이미지 보상 (ActiveX ™ Image Compensation) 기술이 탑재되어 있어 습도, 조명 등 환경 매개 변수의 변화에 관계없이 패턴 무결성을 보장할 수 있습니다. FPA-5510IZ (FPA-5510IZ) 는 높은 정확도로 고급 집적회로를 생산할 수 있는 고성능 웨이퍼 스테퍼를 나타냅니다. 비배출 설계 (non-shedding design) 는 공기 오염을 최소화하는 데 도움이 되며, 견고한 고급 (advanced) 기능은 다양한 산업 환경에서 정확한 패턴화와 안정적인 성능에 기여합니다.