판매용 중고 CANON FPA 5510 iZ #293817795
URL이 복사되었습니다!
ID: 293817795
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57
Resolution: 350 nm
DCO: 30
Throughput (WPH): 160.
CANON FPA 5510 iZ는 높은 처리량과 유연한 솔루션을 원하는 반도체 장치 제조업체를 위해 특별히 설계된 정교한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고속 스테퍼는 대형 1K ~ 2K 레티클을 위해 높은 용량의 몰입 스캔 기술을 제공하며 최대 55nm (feature) 크기를 달성 할 수 있습니다. CANON FPA-5510IZ의 고급 이미징 기능에는 고해상도 이미징, 고급 스티칭 및 고정밀 등록을 통한 정확한 조정이 포함됩니다. 시간당 최대 5,800 개의 웨이퍼를 처리할 때, 스테퍼는 사용자에게 뛰어난 효율성을 제공 할 수 있습니다. 스텝퍼의 스캐닝 기능은 고출력 줌 광학 시스템 (zoom optics system), 통합 초점 측정 (in-focus measurement), 더 높은 처리량을 위한 광자 체 및 다중 펄스 기술로 더욱 향상되었습니다. FPA 5510 iZ 는 통합형 데이터 스토리지 디바이스와 함께 제공되며, 이를 통해 고객은 스캔, 레티클 등 중요한 정보를 저장할 수 있습니다. 자동 클리닝 시스템 (automatiized cleaning system) 은 장치가 최적으로 실행되고 레티클이 깨끗하게 유지되도록 도와줍니다. 스테퍼에는 정확성과 추적 성을 보장하기 위해 스마트 표면 레티클 매핑 (reticle mapping) 기능이 장착되어 있습니다. 또한 FPA-5510IZ 는 특수 애플리케이션에 대한 설정을 수동으로 재정의할 수 있도록 설계되었습니다. 디바이스의 사용자 인터페이스는 적응이 가능하며 여러 언어를 지원할 수 있습니다. 또한 '인터페이스 리모콘 (remote control)' 기능을 통해 디바이스의 작동을 원격 모니터링할 수 있습니다. 이 "웨이퍼 '" 스테퍼' 는 또한 이상 의 징후 가 있을 때 자동 으로 "스캐닝 '기능 을 정지 시키는 안전 기능 을 갖추고 있다. CANON FPA 5510 iZ 를 다른 툴 (예: 노출 시스템) 과 쉽게 통합하여 사용자를 위한 포괄적인 솔루션을 만들 수 있습니다. 캐논 FPA-5510IZ (CANON FPA-5510IZ) 는 높은 처리량과 유연한 솔루션을 필요로 하는 반도체 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 효율적이고 신뢰성이 뛰어난 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 견고한 고속 장치 (High-Speed Device) 는 정밀한 이미징 기능과 고급 자동화 기능을 제공하여 사용자가 보다 현명하게 작업하고 원하는 결과를 보다 쉽게 얻을 수 있게 해 줍니다.
아직 리뷰가 없습니다