판매용 중고 CANON FPA 5510 iZ #293654978

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Stepper.
CANON FPA 5510 iZ는 연구 및 생산 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀도 어플리케이션에 도전할 수 있는 초정밀 고해상도 이미징 기능을 제공하는 고성능 스테퍼입니다. 이 장비는 소형 인체 공학 디자인 (ergonomic design) 으로, 기능 및 작동에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 캐논 FPA-5510IZ (CANON FPA-5510IZ) 는 대부분의 다른 웨이퍼 스테퍼에 비해 시야가 더 커서 다양한 웨이퍼 이미징에 더 유연합니다. 이 시스템은 최대 공간 해상도 0.02 "m ', 최대 작업 거리 290mm, 이미지 왜곡 감지 기능이 최대 0.5% 인 자동 기능 인식 장치를 제공합니다. 사용자 인터페이스는 색상 LCD 터치 패널 디스플레이와 다양한 작동 모드 (예: 자동 모드, 배치 모드, 수동 모드) 를 통해 향상된 사용 편의성을 제공합니다. 또한 FPA 5510 iZ 스테퍼는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 도량형 머신 (metrology machine) 을 갖추고 있으며, 빠른 처리 속도와 다양한 기능을 통해 엔지니어가 웨이퍼 패턴 설계 및 테스트를 지원할 수 있습니다. 이미징을 위한 고해상도 12Mpix CCD 기술과 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 배치하는 다중 축 (multi-axis) 단계를 활용합니다. 스테퍼는 또한 소프트베이크, 사전 정렬, 노출 및 개발을 포함한 다양한 석판화 도구를 지원합니다. FPA-5510IZ는 높은 정확도, 신뢰성, 반복성을 갖춘 탁월한 이미징 기능을 필요로 하는 프로덕션/리서치 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 고정밀도, 인체 공학적 설계, 다양한 기능을 통해 다양한 종류의 연구/생산 환경에서 사용할 수 있으며, 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 뛰어난 이미징 기능, 내구성 있는 "디자인 '이" 웨이퍼' 이미징 을 위한 인기 있는 선택 인 이유 중 일부 에 불과 하다.
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