판매용 중고 CANON FPA 5510 iX #293636290
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ID: 293636290
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Stepper, 12"
Reticle size: 6"
Overlay accuracy: ≤ 50 nm
Resolution: ≤ 500 nm
Numerical aperture (NA): 0.28 - 0.37
Exposure area: 52 mm x 56 mm
2014 vintage.
CANON FPA 5510 iX는 반도체를 제조하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 사진 해설을위한 정확하고 고도로 통합 된 솔루션을 제공합니다. 캐논 FPA-5510IX (CANON FPA-5510IX) 에는 고효율 광원과 고급 광학이 장착되어 있어, 제조 공정의 중요한 부분인 반도체 웨이퍼에 이미지를 정확하게 전달할 수 있습니다. 최적화된 옵티컬 장비 (Optical Equipment) 를 갖추고 있어 오정을 줄이고 정확한 이미징을 보장합니다. 이 시스템은 고급 자동 초점 기능 (advanced autofocus feature) 을 통합하여 웨이퍼 표면에서 작은 변형을 감지하고 그에 따라 포커스를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 사용 중인 웨이퍼 (Wafer) 의 유형과 크기를 기준으로 이미징 프로세스의 매개변수를 조정할 수 있는 소프트웨어 (Software) 에 의해 구동되며, 보다 빠르고 정확한 이미징 (Imaging) 을 가능하게 합니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 스테퍼의 성능을 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 기계는 디지털 줌 (digital zoom) 기능을 갖추고 있으며, 대규모 통합 반도체 디자인의 마이크로 백그라운드 (microbackgrounds) 의 결함을 줄이는 데 이상적입니다. 또한 가변 선 간격을 지원하며, 이는 고해상도 설계에 중요합니다. 또한, 스테퍼를 여러 번 스캔하여 해상도를 높이고 결함률을 낮추도록 프로그래밍 할 수 있습니다. FPA 5510 iX 는 고효율 방열판 및 지능형 냉각 머신으로 설계되어 과열 방지, 전력 소비량 절감 효과를 제공합니다. 또한 빠른 속도로 작동하여 처리량을 극대화할 수 있습니다. FPA-5510IX 는 고급 Optic, Autofocus 툴, 소프트웨어 기능 덕분에 안정성과 대용량 생산을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 스테퍼는 반도체 사진 해설을 위한 효율적인 솔루션으로, 빠르고 안정적인 이미징 결과를 제공합니다.
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