판매용 중고 CANON FPA-5500iZe #293758315

CANON FPA-5500iZe는 반도체 장치 제작을 위한 경제적이고, 완전 자동화된 솔루션으로 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. FPA-5500iZe 는 최대 0.25 미크론 해상도의 고해상도, 광시야각 이미징 장비를 갖추고 있어 현재 사용 가능한 모든 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 최고 해상도를 제공합니다. 이를 통해 무료 회로의 정확한 정렬 및 일치와 비교할 수 있습니다. 최첨단 확대/축소 optic을 통해 CANON FPA-5500iZe는 또한 가장 작은 플립 칩 다이 (flip-chip die) 에서 가장 큰 대규모 집적 회로에 이르기까지 다양한 다이 크기를 수용 할 수 있습니다. FPA-5500iZe의 완전 자동화 로딩 시스템을 사용하면 웨이퍼 기판을 효율적으로 처리 및 준비할 수 있습니다. 스테퍼의 고정밀 선형 드라이브 모터는 각 웨이퍼에 대한 정확한 직접/반 직접 등록 및 자동 초점 스캐닝이 가능합니다. CANON FPA-5500iZe는 또한 넓은 영역 필드 LED 조명을 통해 총 노출 시간을 줄이고, TCO (총 소유 비용) 를 절감하며, 디바이스 생산량을 향상시킵니다. FPA-5500iZe는 피치 불일치를 최소화하고 정확한 웨이퍼 대 웨이퍼 정렬을 보장하는 특화된 이중 방향 가변 피치 웨이퍼 전송 장치를 사용합니다. 자동 웨이퍼 정렬을 통해 완전하게 자동화된 웨이퍼 위치를 지정하여 시간이 많이 소요되는 수동 정렬 조정 작업을 최소화할 수 있습니다. 고속 조리개 기계는 사이트 간 크로스 토크를 최소화하여 고속 노출을 가능하게합니다. CANON FPA-5500iZe 는 고급 진단 및 프로세스 제어 소프트웨어를 장착하여, 사용자가 수율 향상, 시간 낭비, 오염 위험 최소화를 가능하게 합니다. 다양한 프로세스를 동시에 실행할 수 있는 포괄적이고 강력한 레시피 기반 애플리케이션 개발을 제공하는 프로세스 제어 소프트웨어 (옵션) 를 사용할 수 있습니다. 전반적으로, FPA-5500iZe 는 완전하고 자동화된 비용 효율적인 구성 프로세스를 제공하도록 설계된, 매우 고급적이고 신뢰성 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것의 정확성과 속도는 반도체 장치 제작에 좋은 선택이됩니다.