판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #9294138

CANON FPA 5500 iZa는 CANON이 개발 한 고급 석판 프로젝션 스테퍼입니다. 이 고급 광학 석판화 장비 (Optical Lithography Equipment) 는 0.2 미크론 정도의 해상도로 웨퍼에 패턴 레이어를 노출하도록 설계되었으며, 이는 머리카락 너비의 5 분의 1에 해당합니다. FPA 5500은 0.7의 높은 수치 조리개 (High Numerical Aperture) 를 출시하여 기존 스테퍼와 비교할 때 초점이 개선되고 처리량이 높아집니다. FPA 5500은 CANON 스캐닝 스테퍼에서 채택 된 기울어진 단계를 사용하는 CANON 특허 고급 iZ PreAlign 기술을 사용하여 고급 'VIA2' 알고리즘과 쌍을 이루어 웨이퍼 패턴과 스테퍼 노출 비행기 사이의 정확한 정렬을 지원합니다. 이를 통해 기존의 스테퍼에 비해 정렬 정확도가 높아지고 처리량이 향상됩니다. FPA 5500은 CANON Edge 5500 프로세서로 구동되며, 시스템의 크기를 줄이고 15 비트 ADC/DAC 및 WAM (Wafer-Alignment-Machine) 을 사용하여 고급 에칭 기능을 제공합니다. 이 프로세서는 또한 더 이상 사용되지 않는 웨이퍼 스테퍼와 비교할 때 wafer-edge zone을 정렬 오류로부터 해제합니다. FPA 5500의 정밀도는 와퍼를 안전하게 고정시키는 고안정 유리 진공 척 (high-stability glass vacuum chuck) 과 4 면 조명기 (four-facet illuminator) 및 스테이지 렌즈 (stage lens) 구성을 사용하여 잘못된 조정을 최소화하는 프로젝션 정렬기에 의해 더욱 유지됩니다. 또한 FPA 5500은 레이저 소스와 포커스 탐지기 (focus detector) 를 사용하여 마스크와 웨이퍼 사이의 초점 거리를 정확하게 측정하는 자동 초점 시스템 (auto-focus system) 을 갖추고 있습니다. 또한 FPA 5500에는 CANON 'Atom' Imaging Technology가 장착되어 있어 움직이지 않고 6 개의 광축을 동시에 측정하여 노출 용량의 정확도를 높입니다. CANON FPA-5500IZA는 강력한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 광학 리소그래피 (Optical Lithography) 장비는 더 높은 정렬 정확도와 향상된 처리량을 제공하는 한편, 최대 정밀도와 안정성을 제공합니다.