판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #9224031

CANON FPA 5500 iZa Wafer Stepper는 고급 컴퓨터 칩 제조에 사용되는 웨이퍼의 정밀 패턴 (또는 리소그래피) 을위한 특수 정밀 기계입니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 특수 광학 장비를 사용하여 웨이퍼 표면에 매우 작고 정확한 패턴을 생성하여 회로 경로를 몇 나노미터 (1 미터의 수십억 분의 1) 만 배치 할 수 있습니다. 아이자 (iZa) 는 생산에서 가장 높은 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 여러 가지 고급 기술을 갖추고 있습니다. CANON FPA-5500IZA의 조명 시스템은 고급 마이크로 렌즈 어레이 (micro-lens array) 와 레이저 조명원 (laser lumination source) 조합을 사용하여 수차를 최소화하고, 현장 평탄도를 최대화하고, 전체 시야에서 균일 한 강도를 보장합니다. 이것은 조정 가능한 슬릿 효과 장치와 결합하여 고정밀, 고해상도 이미징을 보장합니다. 또한, 슬릿 효과 머신 (slit effects machine) 은 또한 스트레이 라이트를 제거하고 의도 된 패턴 만 노출되도록 보장합니다. 또한 FPA 5500IZA의 이미징 광학 (Imaging optics) 은 특허받은 동적 초점 메커니즘을 사용하여 이미지 평면이 전체 단계에서 평평하고 집중되도록 합니다. 따라서 마스크되지 않은 각 위치에서 정확하고 반복 가능한 이미징이 가능합니다. iZa의 정렬 도구 (Alignment Tool) 는 특수한 백스캐터 (Back-Scatter) 신호를 사용하여 광학 자산에 대한 웨이퍼를 감지하고 정렬하여 위치의 큰 이동에도 고밀도 패턴화를 허용합니다. 마지막으로, CANON FPA 5500IZA 의 제어 모델에는 스테이지 및 광 장비 (optical equipment) 의 동작 및 교정을 최적화하는 특수 제어 알고리즘이 있습니다. 이것은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 소프트웨어 플랫폼 (advanced software platform) 과 결합하여 사용자 친화적 인 작업과 사용자 정의 패턴화를 위한 광범위한 매개변수를 가능하게 합니다. 전반적으로 FPA-5500 IZA는 고급 칩의 정밀 패턴화를 위해 강력하고 다재다능한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 이미징 옵틱 (Optic), 통합 정렬 시스템 (Integrated Alignment System), 정교한 제어 장치 (Control Unit) 의 조합으로 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 패턴을 생산하는 데 적합합니다.