판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #9113707

CANON FPA 5500 iZa는 대용량 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 반도체 집적 회로 (Integrated Circuit) 장치를 패턴화하는 데 사용되는 고급 도구이며, 매우 정확하고 반복 가능한 이미징 성능을 제공합니다. 이 스테퍼는 고급 레이저 다이렉트 이미징 기술과 고속 DMD (digital micro-mirror device) 프로젝션 옵틱을 통합하여 스테퍼 기반 웨이퍼 제작을위한 빠르고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 이 플랫폼은 고급 DMD 투영 어셈블리, 밝은 UV 레이저 광원 및 다수의 정교한 제어 시스템으로 구성됩니다. DMD 투영 어셈블리 (DMD projection assembly) 를 사용하면 웨이퍼에 걸친 이미지 너비와 위치 정렬 정확도, 각 필드의 일관성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 여러 웨이퍼에 걸쳐 이미지의 반복성이 높아지고, 고정밀 장치 구성이 가능합니다. 이 스테퍼는 또한 고정밀 Z축 드라이브 컨트롤 (Z-axis drive control) 을 특징으로하며, 각 필드에 더 큰 노출 스와프를 제공하면서 정확한 초점 설정을 달성 할 수 있습니다. 이렇게 하면 노출된 전체 필드에 대해 동일한 이미지 품질 (Image Quality) 을 보장하여 웨이퍼 (Wafer) 의 모든 표면에 걸쳐 정확하고 일관된 디바이스 구성을 보장합니다. CANON FPA-5500IZA는 이미지 해상도를 최적화하기 위한 정확도가 높은 자동 초점 시스템 (auto-focus system) 과 향상된 현장 간 일관성을 위한 고급 도량형 레틱 보정 시스템 (metrology reticle correction system) 을 갖추고 있습니다. 또한 스테퍼에는 마스크 로딩 및 광 정렬 속도를 높일 수 있는 패턴 인식 (pattern recognition) 및 등록 (registration) 기능이 내장되어 있습니다. 또한, FPA 5500IZA 는 고급 열 관리 기술을 활용하여 DMD 어셈블리 및 레이저 광원의 안정적인 작동을 보장하고, 광학 및 광 구성요소의 효율적인 냉각을 보장합니다. 또한 레이저 유발 사고로부터 사용자를 보호하기 위해 종합적인 안전 시스템이 있습니다. 안정성을 극대화하기 위해 스테퍼는 이미지 센서와 내장형 전자제품 (Electronics) 을 사용하여 안정성 및 수명 연장 (Extended Life) 을 향상시킵니다. 또한 CANON FPA 5500IZA 는 포괄적인 프로세스 관리 툴과 서비스를 제공하여 툴 활용도 및 성능을 향상시킵니다. 마지막으로, 스테퍼는 직관적인 인터페이스와 함께 제공되며, 빠르고 효율적인 스테퍼 (stepper) 작동을 위해 소프트웨어를 쉽게 사용할 수 있습니다.