판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293821661

CANON FPA 5500 iZa는 웨이퍼 레벨 프로세스를 극단으로 가져 가도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 시중에서 다른 어떤 기계와도 다른 다재다능성을 지닌 고정밀도 (high-precision), 고정밀도 (high-accuracy) 머신입니다. CANON FPA-5500IZA는 고해상도 UV 광원, 디지털 줌 (digital zoom) 장비, 고정밀도 모션 시스템 등 다양한 고급 기술 및 시스템을 갖추고 있으며 반복 가능성 정확도는 ± 2äm입니다. 이 기계는 다양한 이미징 모드 (Imaging Mode) 를 제공하여 웨이퍼 레벨 프로세스를위한 다양한 응용 프로그램에 쉽게 적응할 수 있습니다. 여기에는 자동 웨이퍼 레벨 정렬, 패턴, 도량형, 검사 및 검토가 포함됩니다. 이 기계는 최대 0.45äm CD 해상도를 지원하며 최대 100 레벨의 기판과 최대 가속도 0.45mm/sec2의 Z 모션 머신을 처리 할 수있는 주소 지정 장치를 갖추고 있습니다. FPA 5500IZA는 다양한 옵틱을 수용 할 수있는 동력화 된 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 [정렬], [초점], [검사], [칩 이미지] 등 다양한 이미징 요구에 적합한 다양한 목표와 렌즈가 포함됩니다. 또한, 기계에는 회전 테이블 (rotary table), 선형 (linear) 및 XY 테이블 (XY table) 과 같은 다양한 고급 포지셔너가 장착되어 있어 모든 모양과 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. FPA 5500 iZa 는 사용자 친화적이며, 학습이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 에 의해 제어되며, 최소한의 교육을 통해 빠르고 쉽게 시스템을 작동할 수 있습니다. 이 기계는 또한 실시간 피드백을 제공하여 사용자가 작업 중에 즉시 수정 할 수 있습니다. 이것은 최대 유연성을 위해 수동 및 로봇 웨이퍼 처리에 모두 적용 될 수 있습니다. 또한, 기계는 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 위해 CANON 범위의 도량형 및 결함 검토 시스템과 호환됩니다. 전반적으로, FPA-5500 IZA는 웨이퍼 프로세싱에서 최고 수준의 정확성과 정확성을 요구하는 모든 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 사용자 인터페이스 (User Interface), 다양한 이미징 모드 (Imaging Mode), 다양한 포지셔너 (Positioner), 호환 가능한 도량형/결함 검토 시스템 (Compatible Metrology and Defect Review Systems) 을 쉽게 사용할 수 있습니다.