판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293813011

CANON FPA 5500 iZa
ID: 293813011
웨이퍼 크기: 8"
i-Line wide-field steppers, 8".
CANON FPA 5500 iZa 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조, 특히 리소그래피 응용 분야에 사용하도록 설계된 최첨단 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 및 컴퓨터 지원 기술을 사용하여 기능을 반도체와 재료로 정확하게 패턴화합니다. 캐논 FPA-5500A (CANON FPA-5500A) 의 가장 주목할만한 특징은 마스크리스 (maskless), 웨이퍼 표면의 양쪽에 균일 한 기능을 일괄 제작하는 기능, 10nm 해상도로 집적 회로 및 기타 소형화 된 구성 요소의 대량 생산에 이상적입니다. FPA 5500IZA (FPA 5500IZA) 에는 고도의 옵틱 및 레이저 간섭계가 장착되어 있어, 사용자가 작은 치수와 단단한 종횡비 제어로 웨이퍼 표면의 피쳐를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 장치는 독특한 마스크 없는 투영 정렬 (maskless projection alignment) 방법을 사용하여 레티클 (reticle) 과 패턴 (pattern) 정보를 웨이퍼 (wafer) 에 동시에 투영하여 더 빠른 데이터 전송 및 처리량을 제공합니다. 복잡하고 다목적 인 기계 아키텍처는 나노 스케일 (nanoscale) 정확도로 초점 깊이를 확장하기 위해 다중 빔 작동을 지원합니다. 이 도구의 정밀도는 고급 컴퓨터 지원 기술, 특히 액티브 셋업 (Active Setup) 기능을 사용하여 더욱 향상되었습니다. 이 기능은 모든 웨이퍼 레벨 (wafer level) 정렬을 정확하고 효율적으로 수행하도록 보장하는 한편, 운영 시간을 단축하는 오류를 제거합니다. 또한, 에셋은 웨이퍼의 패턴의 전도성, 해상도, 패턴 선형성 등을 검사하고 검토하는 등 다양한 노출 후 (post-exposure) 작업을 지원합니다. 또한 강력한 처리 모델을 통해 웨이퍼 (wafer) 로 출력되기 전에 패턴을 검토, 편집, 조정할 수 있습니다. 전반적으로 CANON FPA-5500 IZA 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조에 필수적인 혁신적인 장비입니다. 고급 옵틱, 모듈식 디자인, 액티브 셋업 (Active Setup) 기능을 통해 생산성, 정확성, 처리량을 한층 높일 수 있습니다. 10nm 해상도의 탁월한 기능과 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 을 갖춘 이 장비는 집적회로 (integrated circuit) 및 기타 고급 재료를 지속적으로 생산할 수 있는 결정적인 선택입니다.
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