판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293808358

CANON FPA 5500 iZa는 반도체 제작을 위해 높은 생산성과 정확한 이미징을 제공하는 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 1 시간당 1 만 5 인치 웨이퍼를 만들 수 있으며, 나노 미터 범위의 레이저 빔을 집중시켜 매우 정밀한 패턴을 만들 수 있습니다. CANON FPA-5500IZA는 CANON 멀티 렌즈 기술을 기반으로하며, 이 기술은 2 개의 렌즈를 결합하여 더 높은 정확도를 위해 초점 드리프트를 줄입니다. FPA 5500IZA는 맞춤형 개발 저전압, 가변 속도 스캔 장비를 독특한 4 채널 노출 기술과 결합하여 빠른 속도에서도 탁월한 정확성을 보장합니다. 2.5 초부터 0.5 초까지의 다양한 해상도를 지원하며, 점도가 낮고 함량이 혼합 된 저항과 호환됩니다. CANON FPA 5500IZA는 또한 뛰어난 이미징 기능뿐만 아니라, 정확성을 보장하기 위해 안정적이고 견고한 워크스테이션 내장 정렬 시스템을 제공합니다. 최고 품질의 이미지를 확보하기 위해 FPA-5500IZA는 여러 가지 고급 기술을 통합합니다. 스마트 결함 감지 장치 (Smart Defect Detection Unit) 는 입자 오염 및 기타 불순물을 방어하는 반면, 고속 노출 보상 기계는 노출 반복성을 보장합니다. 레이저 빔 셰이퍼는 해상도를 유지하면서 필드 크기를 늘리고 실제 단층 촬영 (tomography) 기술은 3D 노출 제어를 제공합니다. 또한 CANON FPA-5500 IZA는 단일 및 다중 레벨 노출을 모두 처리하여 복잡한 패턴화를 가능하게 합니다. 운영자와 엔지니어의 번거로움을 더욱 줄이기 위해 FPA 5500 iZa 는 wafer alignment (웨이퍼 정렬) 및 dose mapping (용량 매핑) 과 같은 단계 관리 및 분석 지원 툴과 함께 사용자에게 친숙한 운영 인터페이스를 제공합니다. 또한 고급 랙 추적 툴 (Advanced Rack Tracking Tool) 과 통합되어 최고 수준의 정밀 반도체 프로세싱에 필요한 성능과 유연성을 모두 제공하는 스토리지 (Stora) 를 간소화합니다.