판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293799914

CANON FPA 5500 iZa는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 반도체 구성 요소의 고급 제작을 위해 설계되었습니다. 이 머신은 대용량 생산, 고부하 플랫폼, 생산성 향상, 탁월한 정확성 및 반복성을 제공하는 이상적인 선택입니다. CANON FPA-5500IZA는 통합 듀얼 플레인 (dual-plane) 정렬 장비를 갖추고 있어 다양한 유형의 소스 및 대상 기판을 정확하고, 빠르고, 쉽게 배치할 수 있습니다. 5 축 동작 플랫폼에는 2 개의 선형 드라이브, 2 개의 회전 축 및 1 개의 축이 있습니다. 이 모션 플랫폼은 다양한 기판 크기와 모양을 처리 할 수 있으며, 미크론 (micron) 수준의 정밀도로 복잡하고 작은 기능을 인쇄할 수 있습니다. FPA 5500IZA는 또한 CANON 고유 Aspheric Optics System (AOS) 을 특징으로하며, 뛰어난 패턴 배치 정확도에 대한 수차를 최소화하고 서브 미크론 등록 및 오버레이 정확도를 제공합니다. 또한 이 장치는 특별한 툴링 (tooling) 을 필요로 하지 않으며, 보다 유연성과 제어 기능을 고객에게 제공합니다. FPA 5500은 157nm에서 248nm 사이의 여러 파장과 호환되며, 기존, 수지 및 열 저항 재료의 전체 범위를 수용 할 수 있습니다. 레이저 스캐너는 가장 큰 조리개와 통합되어 있으며, 테빔 각도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. FPA 5500은 또한 최적의 필름 조건에 습도 감지 기계를 사용할 수 있으며, 가스나 증기 오염 (vapor contamination) 과 같은 환경 변화로부터 장치를 보호하기 위해 온라인 보정을 포함합니다. 또한 FPA 5500은 다양한 설계 요구 사항 및 제작 프로세스, 자동 저항 (Resist) 개발 및 필름 레이어 제어를 통합 할 수있는 포괄적인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 시스템을 쉽게 제어할 수 있으며, CANON 온라인 프로세스 자습서를 통해 단계별 지침에 신속하게 액세스할 수 있습니다. 결론적으로, FPA-5500 IZA는 대용량 생산을 위한 선택 솔루션으로, 탁월한 정확성, 반복성, 성능을 제공합니다. 강력한 모션 플랫폼 (Motion Platform) 과 유연한 매개변수 (Flexible Parameter) 를 통해 다양한 기판, 저항 재료 및 설계 요구 사항을 수용하여 장치 품질과 효율성이 우수합니다.