판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293759381

CANON FPA 5500 iZa 웨이퍼 스테퍼는 반도체 공장을위한 최첨단 이미징 도구입니다. 매우 상세한 이미지와 얇은 선 해상도를 필요로 하는 고정밀 리소그래피 (lithography) 프로세스를 위해 설계되었습니다. CANON FPA-5500IZA 스테퍼는 5 미크론 정렬 장비를 사용하며, 이를 통해 +/- 0.2 äm의 정확도로 2 개의 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. 따라서 모든 응용 프로그램에서 매우 높은 리소그래피 정확도와 정확도가 가능합니다. 스캐너는 또한 5 인치 장거리 오브젝티브 렌즈를 갖추고 있으며, 이를 통해 최대 9 "x9" 리소그래피 플레이트와 무단 웨이퍼와의 호환성이 가능합니다. CANON FPA 5500의 가장 인상적인 기능 중 하나는 오프 축 이미징 시스템입니다. 이 장치는 다양한 각도에서 빛을 포착하여 고해상도 (high-resolution) 이미지를 생성하여 매우 상세한 이미지를 생성합니다. 오프 축 이미징 머신 (Off-axis Imaging Machine) 은 0.2 µm의 매우 미세한 라인 해상도를 생성 할 수 있으므로 결과가 정확하고 일관성이 있습니다. FPA 5500에는 공기 베어링 디자인과 고성능 및 안정성을 위한 2 축 고속 모터가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 리소그래피 프로세스가 정확하고 효율적이므로, 오류를 줄이고 시간을 절약할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 고속 동작 제어 도구 (High-Speed Motion Control Tool) 를 갖추고 있으며, 여러 정밀도 프로세스를 동시에 처리할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 다이오드 형성, 에치 (etch) 및 게이트 산화 (gate oxidation) 와 같은 다양한 리소그래피 프로세스를 처리하여 처리 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 결론적으로, FPA 5500IZA 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제작 및 기타 고정밀 리소그래피 프로세스에 이상적인 고급 이미징 도구입니다. 5 미크론 정렬 에셋은 서브 미크론 정확도를 보장하는 반면, 오프 축 이미징 모델은 미세 라인 해상도 0.2 äm의 고품질 이미지를 생성합니다. 또한, 공기 베어링 (Air Bearing) 디자인과 고속 모터는 높은 안정성과 정확성을 제공하는 반면, 모션 제어 장비는 여러 프로세스를 동시에 처리 할 수 있습니다. 따라서 CANON FPA-5500 IZA 웨이퍼 스테퍼는 정밀 리소그래피 적용을위한 이상적인 도구입니다.